公开(公告)号：CN1048526A

公开(公告)日：1991-01-16

申请号：CN90103348.0

申请日：1990-07-05

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 毛利吉男

IPC: B65D88/28 ,  F27B14/18

CPC classification number: C30B15/02

Abstract: 一种粒状硅原料供给装置包括-料斗(19)、供料器(15)、第一导向管(16)、供料管(19)、壳体(11)、闸阀(18)及第二导向管(21)。供料管(19)布置在第一导向管的下部，能上下运动；壳体(11)包封上述的料斗、供料器、导向管和供料管；闸阀(18)用来关闭生产单晶硅装置一个腔室的开口；第二导向管(21)布置在腔室(10)的开口中，把粒状硅原料导入坩埚内。

公开(公告)号：CN1046360A

公开(公告)日：1990-10-24

申请号：CN90102476.7

申请日：1990-03-30

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 毛利吉男 ,  荒木健治 ,  黑田浩一

IPC: C30B15/00

CPC classification number: C30B15/02

Abstract: 引上法制造硅单晶的设备，包括一个将硅粒原料连续送进坩埚的加料装置。该装置包括一个充有减压惰性气体的箱体，箱体内部安装一个转筒，转筒外圆表面上有多个能截住颗粒原料的部件，在转筒上方装置一个贮料斗。加料装置的配布要使贮料斗底部排出口与转筒外圆表面之间的距离(缝隙)要大于硅粒的最大直径，且该距离(缝隙)的最大值要足以使得硅粒能以一个静止角堆积在这个距离(缝隙)上。转筒外圆表面上能截住颗粒的部件采取各种任何凸起或沟槽的形式。

公开(公告)号：CN1018002B

公开(公告)日：1992-08-26

申请号：CN90102476.7

申请日：1990-03-30

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 毛利吉男 ,  荒木健治 ,  黑田浩一

IPC: C30B15/00 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B15/02

Abstract: 引上法制造硅单晶的设备，包括一个将硅粒原料连续送进坩埚的加料装置。该装置包括一个充有减压惰性气体的箱体，箱体内部安装一个转筒，转筒外圆表面上有多个能截住颗粒原料的部件，在转筒上方装量一个贮料斗。加料装置的配布要使贮料斗底部排出口与转筒外圆表面之间的距离(缝隙)要大于硅粒的最大直径，且该距离(缝隙)的最大值要足以使得硅粒能以一个静止角堆积在这个距离(缝隙)上。转筒外圆表面上能截住颗粒的部件采取各种任何凸起或沟槽的形式。

公开(公告)号：CN1016160B

公开(公告)日：1992-04-08

申请号：CN90103348.0

申请日：1990-07-05

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 毛利吉男

IPC: C03B15/02 ,  B01J4/00 ,  B65D88/28

CPC classification number: C30B15/02

Abstract: 一种粒状硅原料供给装置包括一料斗(19)、供料器(15)、第一导向管(16)、供料管(19)、壳体(11)、闸阀(18)及第二导向管(21)。供料管(19)布置在第一导向管的下部，能上下运动；壳体(11)包封上述的料斗、供料器、导向管和供料管；闸阀(18)用来关闭生产单晶硅装置一个腔室的开口；第二导向管(21)布置在腔室(10)的开口中，把粒状硅原料导入坩埚内。