公开(公告)号：CN103134962A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210518148.5

申请日：2012-12-05

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 安田胜男 ,  增田光 ,  根井秀树 ,  石渡达也

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/067 ,  G01R1/06777 ,  G01R1/44 ,  G01R31/2608

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够防止探针或半导体器件的通电所引起的温度上升、能够进行正确测定的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置。本发明通过提供如下的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置来解决上述课题，该电力用半导体器件检查用探针组件具有：具有多个探针收纳孔的探针座；多根探针，所述多根探针被分别收纳在各个所述探针收纳孔中，使所述探针的外周与所述探针收纳孔的内周接触，且使所述探针的在检查时与对象物接触的下端部从所述探针座突出；和对所述探针座进行冷却的一个或者两个以上的冷却单元。

公开(公告)号：CN103134962B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201210518148.5

申请日：2012-12-05

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 安田胜男 ,  增田光 ,  根井秀树 ,  石渡达也

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/067 ,  G01R1/06777 ,  G01R1/44 ,  G01R31/2608

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够防止探针或半导体器件的通电所引起的温度上升、能够进行正确测定的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置。本发明通过提供如下的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置来解决上述课题，该电力用半导体器件检查用探针组件具有：具有多个探针收纳孔的探针座；多根探针，所述多根探针被分别收纳在各个所述探针收纳孔中，使所述探针的外周与所述探针收纳孔的内周接触，且使所述探针的在检查时与对象物接触的下端部从所述探针座突出；和对所述探针座进行冷却的一个或者两个以上的冷却单元。

公开(公告)号：CN103135046A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210518234.6

申请日：2012-12-05

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 安田胜男 ,  增田光 ,  根井秀树

IPC: G01R31/26 ,  G01R1/067 ,  G01R1/02

CPC classification number: G01R1/0408 ,  G01R1/06705 ,  G01R1/07307 ,  G01R31/26 ,  G01R31/2608 ,  G01R31/2648 ,  G01R31/2865

Abstract: 本发明的课题为提供一种能够在晶片状态下对在晶片基板的两面具有电极的半导体器件的特性进行高精度测定的半导体器件的检查装置及其所使用的吸盘台。本发明通过提供如下的半导体器件的检查装置来解决上述课题，所述检查装置具有表面电极用探针以及背面电极用探针和吸盘台，在所述吸盘台的上表面，晶片保持部和导电性的探针接触区域相邻地配置，所述探针接触区域与所述晶片保持部电导通，所述表面电极用探与所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对移动了时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对移动。

公开(公告)号：CN103135046B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201210518234.6

申请日：2012-12-05

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 安田胜男 ,  增田光 ,  根井秀树

IPC: G01R1/04 ,  G01R1/067

CPC classification number: G01R1/0408 ,  G01R1/06705 ,  G01R1/07307 ,  G01R31/26 ,  G01R31/2608 ,  G01R31/2648 ,  G01R31/2865

Abstract: 本发明的课题为提供一种能够在晶片状态下对在晶片基板的两面具有电极的半导体器件的特性进行高精度测定的半导体器件的检查装置及其所使用的吸盘台。本发明通过提供如下的半导体器件的检查装置来解决上述课题，所述检查装置具有表面电极用探针以及背面电极用探针和吸盘台，在所述吸盘台的上表面，晶片保持部和导电性的探针接触区域相邻地配置，所述探针接触区域与所述晶片保持部电导通，所述表面电极用探与所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对移动了时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对移动。

公开(公告)号：CN302402463S

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201230560792.X

申请日：2012-11-19

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Designer： 增田光 ,  荒井泉

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：基板检查机。2．本外观设计产品的用途：可以用于检查例如半导体晶片或者太阳能电池面板等的基板的配线以及连接部的缺陷，也可以通过显微镜用于拍摄观察基板的配线以及连接部的电气性的放大影像的基板检查机。3．本外观设计的设计要点：形状及图案。4．最能表明设计要点的图片或者照片：开关盖打开状态立体图1。

公开(公告)号：CN302413611S

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201230569644.4

申请日：2012-11-22

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Designer： 安田胜男 ,  增田光

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：用于半导体设备检查装置的卡盘台。2．本外观设计产品的用途：用于一种半导体设备检查装置，该检查装置可在晶片状态下直接测定半导体设备的特性。3．本外观设计的设计要点：全体形状。4．最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。