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公开(公告)号：CN103134962A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210518148.5
申请日：2012-12-05
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/067 , G01R1/06777 , G01R1/44 , G01R31/2608
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够防止探针或半导体器件的通电所引起的温度上升、能够进行正确测定的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置。本发明通过提供如下的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置来解决上述课题，该电力用半导体器件检查用探针组件具有：具有多个探针收纳孔的探针座；多根探针，所述多根探针被分别收纳在各个所述探针收纳孔中，使所述探针的外周与所述探针收纳孔的内周接触，且使所述探针的在检查时与对象物接触的下端部从所述探针座突出；和对所述探针座进行冷却的一个或者两个以上的冷却单元。
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公开(公告)号：CN103135046B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210518234.6
申请日：2012-12-05
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/0408 , G01R1/06705 , G01R1/07307 , G01R31/26 , G01R31/2608 , G01R31/2648 , G01R31/2865
Abstract: 本发明的课题为提供一种能够在晶片状态下对在晶片基板的两面具有电极的半导体器件的特性进行高精度测定的半导体器件的检查装置及其所使用的吸盘台。本发明通过提供如下的半导体器件的检查装置来解决上述课题，所述检查装置具有表面电极用探针以及背面电极用探针和吸盘台，在所述吸盘台的上表面，晶片保持部和导电性的探针接触区域相邻地配置，所述探针接触区域与所述晶片保持部电导通，所述表面电极用探与所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对移动了时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112005352B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN201980023465.X
申请日：2019-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明的课题在于，提供一种能够降低来自卡盘载物台的电流泄漏、外来噪声的影响，进而消除卡盘载物台的对探针台框体杂散电容，保持晶圆状态地精度良好地进行半导体器件的检查的探针台，通过提供如下这样的探针台来解决上述课题：探针台具有：上表面开口的卡盘罩导电体，其具有底部导体和侧部导体，能够在由底部导体和侧部导体围成的空间内收容所述卡盘载物台；上部罩导电体，其具有正面电极用探针以及背面电极用探针的支承导电部能够通过的贯通孔，且在检查时，在正面电极用探针的接触部在检查对象晶圆内相对地移动时，在俯视的情况下，也至少具有遮盖卡盘罩导电体的所述开口的大小；以及使卡盘罩导电体与上部罩导电体接触并电导通的单元。
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公开(公告)号：CN112005352A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201980023465.X
申请日：2019-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明的课题在于，提供一种能够降低来自卡盘载物台的电流泄漏、外来噪声的影响，进而消除卡盘载物台的对探针台框体杂散电容，保持晶圆状态地精度良好地进行半导体器件的检查的探针台，通过提供如下这样的探针台来解决上述课题：探针台具有：上表面开口的卡盘罩导电体，其具有底部导体和侧部导体，能够在由底部导体和侧部导体围成的空间内收容所述卡盘载物台；上部罩导电体，其具有正面电极用探针以及背面电极用探针的支承导电部能够通过的贯通孔，且在检查时，在正面电极用探针的接触部在检查对象晶圆内相对地移动时，在俯视的情况下，也至少具有遮盖卡盘罩导电体的所述开口的大小；以及使卡盘罩导电体与上部罩导电体接触并电导通的单元。
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公开(公告)号：CN103134962B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201210518148.5
申请日：2012-12-05
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/067 , G01R1/06777 , G01R1/44 , G01R31/2608
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够防止探针或半导体器件的通电所引起的温度上升、能够进行正确测定的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置。本发明通过提供如下的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置来解决上述课题，该电力用半导体器件检查用探针组件具有：具有多个探针收纳孔的探针座；多根探针，所述多根探针被分别收纳在各个所述探针收纳孔中，使所述探针的外周与所述探针收纳孔的内周接触，且使所述探针的在检查时与对象物接触的下端部从所述探针座突出；和对所述探针座进行冷却的一个或者两个以上的冷却单元。
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公开(公告)号：CN103135046A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210518234.6
申请日：2012-12-05
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/0408 , G01R1/06705 , G01R1/07307 , G01R31/26 , G01R31/2608 , G01R31/2648 , G01R31/2865
Abstract: 本发明的课题为提供一种能够在晶片状态下对在晶片基板的两面具有电极的半导体器件的特性进行高精度测定的半导体器件的检查装置及其所使用的吸盘台。本发明通过提供如下的半导体器件的检查装置来解决上述课题，所述检查装置具有表面电极用探针以及背面电极用探针和吸盘台，在所述吸盘台的上表面，晶片保持部和导电性的探针接触区域相邻地配置，所述探针接触区域与所述晶片保持部电导通，所述表面电极用探与所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对移动了时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对移动。
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公开(公告)号：CN302413611S
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201230569644.4
申请日：2012-11-22
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：用于半导体设备检查装置的卡盘台。2．本外观设计产品的用途：用于一种半导体设备检查装置，该检查装置可在晶片状态下直接测定半导体设备的特性。3．本外观设计的设计要点：全体形状。4．最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。
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