探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法

    公开(公告)号:CN107526018B9

    公开(公告)日:2021-09-03

    申请号:CN201710475946.7

    申请日:2017-06-21

    Abstract: 提供一种被控制为所希望温度而使温度分布均匀化的探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法。探针卡(1)包括:支承基板(3);包含布线(2)而设于支承基板(3)的主面(8)的布线层(4);配置在布线层(4)的与支承基板(3)侧相反一侧的面(11)并与布线(2)连接的探针(5);多个加热器(6)。在探针卡(1)中,通过俯视下纵横排列的多个加热器区域(10)被假想地分割为加热器区域,各个加热器区域(10)分别配置有多个加热器(6)中的至少一个。使用探针卡(1)构成检查装置,使用该检查装置进行被检查体的检查。

    探针卡
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109073677B

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN201780022545.4

    申请日:2017-03-21

    Abstract: 提供使探针的针尖部的高度不均的调节及与被检查体之间的平行度的调节变得简便的探针卡。探针卡1具有在内部、表面等具有布线4的布线基板2、多个探针3和电介质膜6。对于电介质膜6而言,以在与探针3的针尖部13相比更远离布线基板2的位置处,一个面21与作为布线基板2的探针设置面的主表面8相对且还与针尖部13相对的方式,相对于布线基板2的主表面8隔开间隔地配置。当对被检查体进行检查时,探针卡1构成如下状态:针尖部13夹着电介质膜6而与被检查体的电极相对。将从检查装置向探针3供给的检查信号设为交流信号,探针卡1使针尖部13和被检查体的电极电容耦合,从而传输检查信号。

    检查装置及检查方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110865293B

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN201910782399.6

    申请日:2019-08-23

    Inventor: 深见美行

    Abstract: 本发明提供一种检查装置及检查方法,考虑作为探针的接触目的地的电极端子的尺寸信息,使可动轴驱动部的动作速度可变,以缩短检查时间。本发明的检查装置具有多个可动探针,使各可动探针与被检查基板上的多个检查对象物的每一个接触,以测定多个检查对象物间的电气特性,该检查装置具有:多个可动部,其支承各可动探针,使各可动探针在多个轴向上移动,从而将各可动探针定位在检查对象物的位置,使各可动探针与检查对象物接触;驱动部,其驱动使各可动探针移动的各可动部;以及驱动控制部,其根据作为各可动探针的下一个接触目的地的检查对象物的尺寸信息,控制使各可动探针移动的各可动部的动作速度。

    电性连接装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113544519A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN201980093681.1

    申请日:2019-12-13

    Abstract: 本发明提供一种使线路基板的电极区域与连接件的接触面积比以往大而抑制接触电阻、能够实现稳定的电性连接性的电性连接装置。本发明的电性连接装置的特征在于,具有:第1电极区域,其是在能够与第1线路基板的基板电极导通的第1凹部内填充液体金属得到的;第2电极区域,其是在能够与和第1线路基板相对的第2线路基板的基板电极导通的第2凹部内填充液体金属得到的;以及连接件,其使一端部与第1电极区域的液体金属接触,使另一端部与第2电极区域的液体金属接触,从而使第1电极区域与第2电极区域之间导通。

    多层布线基板和使用该多层布线基板的探针卡

    公开(公告)号:CN109073680B

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN201780027906.4

    申请日:2017-04-06

    Abstract: 本发明提供一种多层布线基板,其具有:绝缘板(41),其由多个绝缘性合成树脂层构成;布线回路(44a、44b、44c),其设于绝缘板(41);薄膜电阻体(46),其埋设于绝缘板(41)地形成,并与布线回路(44a、44b、44c)电连接;散热部(47),其在绝缘板的一个面上隔着多个绝缘性合成树脂层中的一部分与薄膜电阻体(46)相对地设置,并具有比绝缘板(41)的导热率高的导热率;基座部(48),其埋设于绝缘板(41)地形成,隔着多个绝缘性合成树脂层中的一部分在与散热部(47)相反的侧与薄膜电阻体(46)相对地设置,并具有比绝缘板(41)的导热率高的导热率;以及散热基座连接部(49),其将散热部(47)和基座部(48)连接地设置,并具有比绝缘板(41)的导热率高的导热率。

    探针卡
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109073677A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201780022545.4

    申请日:2017-03-21

    Abstract: 提供使探针的针尖部的高度不均的调节及与被检查体之间的平行度的调节变得简便的探针卡。探针卡1具有在内部、表面等具有布线4的布线基板2、多个探针3和电介质膜6。对于电介质膜6而言,以在与探针3的针尖部13相比更远离布线基板2的位置处,一个面21与作为布线基板2的探针设置面的主表面8相对且还与针尖部13相对的方式,相对于布线基板2的主表面8隔开间隔地配置。当对被检查体进行检查时,探针卡1构成如下状态:针尖部13夹着电介质膜6而与被检查体的电极相对。将从检查装置向探针3供给的检查信号设为交流信号,探针卡1使针尖部13和被检查体的电极电容耦合,从而传输检查信号。

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