-
公开(公告)号：CN109073677A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022545.4
申请日：2017-03-21
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/06 , G01R1/07 , G01R1/073 , G01R31/302 , H01L21/66
Abstract: 提供使探针的针尖部的高度不均的调节及与被检查体之间的平行度的调节变得简便的探针卡。探针卡1具有在内部、表面等具有布线4的布线基板2、多个探针3和电介质膜6。对于电介质膜6而言，以在与探针3的针尖部13相比更远离布线基板2的位置处，一个面21与作为布线基板2的探针设置面的主表面8相对且还与针尖部13相对的方式，相对于布线基板2的主表面8隔开间隔地配置。当对被检查体进行检查时，探针卡1构成如下状态：针尖部13夹着电介质膜6而与被检查体的电极相对。将从检查装置向探针3供给的检查信号设为交流信号，探针卡1使针尖部13和被检查体的电极电容耦合，从而传输检查信号。
-
公开(公告)号：CN104280573B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201410319974.6
申请日：2014-07-07
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/0416 , G01R1/07307 , G01R1/07342 , G01R31/26 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供电连接装置。其以简单的装置结构缩短到开始测量为止的时间。其包括布线基板(14)、探针卡(19)以及电连接部(16)，该布线基板配置在吸盘顶部(21)的上方，形成有用于与电路检验器(11)连接的布线路(14a)；该探针卡具有：探针基板(18)，其与布线基板隔有间隔，以一面与布线基板相对的方式配置，以与布线路(14a)相对应的方式形成有布线路(18e)；以及多个探针(18a)，其以与布线路(18e)连接的方式设于探针基板的另一面，能够分别与吸盘顶部上的半导体晶圆(28)的多个连接焊盘(28a)接触；该电连接部使布线路(14a)与布线路(18e)电连接，并且利用降低布线基板与探针基板之间的热传导的低热传导支承构件(16f、16g)进行连接。
-
公开(公告)号：CN104280577A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410320021.1
申请日：2014-07-07
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R1/07307 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供电连接装置。其以简单的装置结构缩短到开始测量为止的时间。其包括探针卡(19)和弹性热传导构件(18h)，该探针卡具有形成有用于与电路检验器(11)电连接的布线路(18e)的探针基板(18)及能分别与吸盘顶部(21)上的半导体晶圆(28)的多个连接焊盘(28a)中的各连接焊盘接触的多个探针(18a)，该探针卡能相对于吸盘顶部移动，该弹性热传导构件配置在吸盘顶部的工作面与探针基板之间或工作面上的半导体晶圆与探针基板之间。弹性热传导构件能在多个探针与所对应的多个连接焊盘(28a)非抵接状态下与吸盘顶部的工作面和探针基板、或工作面上的半导体晶圆和探针基板抵接，且能以不妨碍多个探针分别与所对应的连接焊盘抵接方式弹性变形。
-
公开(公告)号：CN107526018B9
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201710475946.7
申请日：2017-06-21
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 提供一种被控制为所希望温度而使温度分布均匀化的探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法。探针卡(1)包括：支承基板(3)；包含布线(2)而设于支承基板(3)的主面(8)的布线层(4)；配置在布线层(4)的与支承基板(3)侧相反一侧的面(11)并与布线(2)连接的探针(5)；多个加热器(6)。在探针卡(1)中，通过俯视下纵横排列的多个加热器区域(10)被假想地分割为加热器区域，各个加热器区域(10)分别配置有多个加热器(6)中的至少一个。使用探针卡(1)构成检查装置，使用该检查装置进行被检查体的检查。
-
公开(公告)号：CN109073677B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201780022545.4
申请日：2017-03-21
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/06 , G01R1/07 , G01R1/073 , G01R31/302 , H01L21/66
Abstract: 提供使探针的针尖部的高度不均的调节及与被检查体之间的平行度的调节变得简便的探针卡。探针卡1具有在内部、表面等具有布线4的布线基板2、多个探针3和电介质膜6。对于电介质膜6而言，以在与探针3的针尖部13相比更远离布线基板2的位置处，一个面21与作为布线基板2的探针设置面的主表面8相对且还与针尖部13相对的方式，相对于布线基板2的主表面8隔开间隔地配置。当对被检查体进行检查时，探针卡1构成如下状态：针尖部13夹着电介质膜6而与被检查体的电极相对。将从检查装置向探针3供给的检查信号设为交流信号，探针卡1使针尖部13和被检查体的电极电容耦合，从而传输检查信号。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104280577B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201410320021.1
申请日：2014-07-07
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R1/07307 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供电连接装置。其以简单的装置结构缩短到开始测量为止的时间。其包括探针卡(19)和弹性热传导构件(18h)，该探针卡具有形成有用于与电路检验器(11)电连接的布线路(18e)的探针基板(18)及能分别与吸盘顶部(21)上的半导体晶圆(28)的多个连接焊盘(28a)中的各连接焊盘接触的多个探针(18a)，该探针卡能相对于吸盘顶部移动，该弹性热传导构件配置在吸盘顶部的工作面与探针基板之间或工作面上的半导体晶圆与探针基板之间。弹性热传导构件能在多个探针与所对应的多个连接焊盘(28a)非抵接状态下与吸盘顶部的工作面和探针基板、或工作面上的半导体晶圆和探针基板抵接，且能以不妨碍多个探针分别与所对应的连接焊盘抵接方式弹性变形。
-
公开(公告)号：CN104280573A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410319974.6
申请日：2014-07-07
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/0416 , G01R1/07307 , G01R1/07342 , G01R31/26 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供电连接装置。其以简单的装置结构缩短到开始测量为止的时间。其包括布线基板(14)、探针卡(19)以及电连接部(16)，该布线基板配置在吸盘顶部(21)的上方，形成有用于与电路检验器(11)连接的布线路(14a)；该探针卡具有：探针基板(18)，其与布线基板隔有间隔，以一面与布线基板相对的方式配置，以与布线路(14a)相对应的方式形成有布线路(18e)；以及多个探针(18a)，其以与布线路(18e)连接的方式设于探针基板的另一面，能够分别与吸盘顶部上的半导体晶圆(28)的多个连接焊盘(28a)接触；该电连接部使布线路(14a)与布线路(18e)电连接，并且利用降低布线基板与探针基板之间的热传导的低热传导支承构件(16f、16g)进行连接。
-
公开(公告)号：CN107526018B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201710475946.7
申请日：2017-06-21
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 提供一种被控制为所希望温度而使温度分布均匀化的探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法。探针卡(1)包括：支承基板(3)；包含布线(2)而设于支承基板(3)的主面(8)的布线层(4)；配置在布线层(4)的与支承基板(3)侧相反一侧的面(11)并与布线(2)连接的探针(5)；多个加热器(6)。在探针卡(1)中，通过俯视下纵横排列的多个加热器区域(10)被假想地分割为加热器区域，各个加热器区域(10)分别配置有多个加热器(6)中的至少一个。使用探针卡(1)构成检查装置，使用该检查装置进行被检查体的检查。
-
公开(公告)号：CN107526018A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710475946.7
申请日：2017-06-21
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2874 , G01R1/07307 , G01R1/07378 , G01R31/2863 , G01R31/2875 , G01R31/2891 , G01R31/2831 , H01L22/14
Abstract: 提供一种被控制为所希望温度而使温度分布均匀化的探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法。探针卡(1)包括：支承基板(3)；包含布线(2)而设于支承基板(3)的主面(8)的布线层(4)；配置在布线层(4)的与支承基板(3)侧相反一侧的面(11)并与布线(2)连接的探针(5)；多个加热器(6)。在探针卡(1)中，通过俯视下纵横排列的多个加热器区域(10)被假想地分割为加热器区域，各个加热器区域(10)分别配置有多个加热器(6)中的至少一个。使用探针卡(1)构成检查装置，使用该检查装置进行被检查体的检查。
-
公开(公告)号：CN104237578B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201410262345.4
申请日：2014-06-12
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/07314 , G01B21/08 , G01R1/07307 , G01R3/00 , G01R31/2863 , G01R31/2874
Abstract: 本发明提供一种与两个测定温度相对应的探针卡及其制造方法。为了对配置在安装有热源的作业台上的被检查体进行电气试验而探针卡将被检查体的电极和测试器连接。探针卡包括：形成有与测试器相连接的导电路径的电路基板；形成有与该电路基板的上述导电路径相对应的导电路径并设有与导电路径相连接的探针的探针基板；热膨胀调整构件，其与探针基板相结合，并为了限制探针基板的热伸缩而具有与探针基板的线膨胀系数不同的线膨胀系数，热膨胀调整构件和探针基板构成复合体。如下进行设定：若在被检查体处于两个测定温度时复合体处于相对应的到达温度，则使各测定温度与相对应的到达温度之间的温度差的情况下的被检查体和复合体的伸缩变化量大致相等。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
11
records
(took 0.031 seconds)
