滚筒溅射装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104603322A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201380044728.8

    申请日:2013-08-21

    IPC分类号: C23C14/34

    摘要: 本发明提供一种滚筒溅射装置,其能够在粒状体整体上均匀地附着靶原子。滚筒溅射装置具备收容粒状体的真空容器(2)、配置在真空容器(2)内且至少一侧端面(10c)开口的筒状的滚筒(10)、以及配置在滚筒(10)内的溅射靶(16),通过支承臂(11)、旋转用驱动电动机(12)、摆动用驱动电动机(13)、第一齿轮构件(14)以及第二齿轮构件(15)使滚筒绕滚筒(10)的轴线旋转,并且以使滚筒(10)的轴线方向上的一侧端部(10e)与另一侧端部(10f)在上下相对调换的方式使滚筒(10)摆动。

    热交换式反应管
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111921462A

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN202010872308.0

    申请日:2013-08-28

    IPC分类号: B01J8/24 B01J8/34 C01B32/16

    摘要: 本发明提供一种均热性高、热损失少的热交换型反应管。具有:第一管部(2),其形成流入原料气体并使原料气体下降的第一流路(4);第二管部(3),其形成与第一流路(4)连通并使原料气体上升的第二流路(5),填充有粒子状的催化剂担载支承体;和加热装置,其将第一管部(2)及第二管部(3)加热。此外,第一流路(4)与第二流路(5)隔着隔壁邻接,在第二流路(5)中,设有保持催化剂担载支承体并使原料气体通过的分散板(8)。