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公开(公告)号：CN101970365A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980108834.1
申请日：2009-03-12
CPC分类号： C03B35/181 , C23C18/1216
摘要： 本发明的课题在于，在辊母材的表面上层叠有底层和陶瓷喷镀膜的玻璃运送用辊中，抑制从该陶瓷喷镀膜上的粒子脱落。本发明涉及一种玻璃运送用辊，在辊母材的表面上设置有包含金属陶瓷或金属的第一喷镀膜，在该第一喷镀膜上设置有包含陶瓷的第二喷镀膜，其中，该第二喷镀膜使用二氧化硅前体溶液进行了封孔处理。
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公开(公告)号：CN105051390A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480017826.7
申请日：2014-01-07
申请人： 东华隆株式会社
IPC分类号： F16C33/64 , C23C4/10 , F16C19/06 , F16C35/073 , F16C35/077 , H02K7/08
CPC分类号： F16C33/64 , C23C4/11 , C23C4/134 , F16C19/06 , F16C19/52 , F16C33/586 , F16C33/62 , F16C35/063 , F16C35/067 , F16C2223/42 , F16C2380/26
摘要： 一种防电蚀用滚动轴承(1)，其具有：金属制的外圈(2)；以及金属制的内圈(3)，其隔着多个滚动体(5)进行配置，通过等离子喷镀法在外圈(2)或内圈(3)的外表面(21)、(31)上形成防电蚀用的陶瓷喷镀覆膜(10)。使陶瓷喷镀覆膜(10)的膜厚为50μm～100μm，使组成为铝氧化物：60重量％～98重量％、钛氧化物：2重量％～40重量％，且将体积电阻率调整为106Ωcm～1013Ωcm，虽然维持绝缘性能但没有完全切断电流，提高了耐久性。
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公开(公告)号：CN105428195B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201510578768.1
申请日：2015-09-11
申请人： 东京毅力科创株式会社 , 东华隆株式会社
CPC分类号： C23C4/134 , C23C4/005 , C23C4/01 , C23C4/02 , C23C4/06 , C23C4/105 , C23C4/11 , C23C4/127 , C23C4/131 , C23C28/042
摘要： 本发明的课题在于抑制从氟化钇制的喷镀被膜产生微粒。本发明的解决方法在于提供一种在等离子体处理装置内被暴露于等离子体中的部件。该部件具有基材和被膜。基材例如为铝制或铝合金制。可以在基材的表面形成耐酸铝膜。被膜通过在包括基材或设置于该基材上的层的基底的表面上喷镀氟化钇而形成。该部件的被膜内的气孔率为4％以下，该被膜的表面的算术平均粗糙度(Ra)为4.5μm以下。
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公开(公告)号：CN105051240B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201480016798.7
申请日：2014-01-07
申请人： 东华隆株式会社
发明人： 虻川志向
CPC分类号： C23C4/18 , C23C4/11 , C23C4/134 , F16C19/06 , F16C19/52 , F16C33/62 , F16C33/64 , F16C2223/42
摘要： 一种防电腐蚀用滚动轴承(1)，其具备金属制的外轮(2)和藉由多个滚动体(5)所配置的金属制的内轮(3)，在外轮(2)或内轮(3)的外表面(21)、(31)通过等离子体喷镀法形成有防电腐蚀用的陶瓷喷镀皮膜(10)。使被覆的外轮(2)或内轮(3)的外表面(21)、(31)的表面粗糙度为Ra：0.5μm～2.0μm，使陶瓷喷镀皮膜(10)的组成为铝氧化物的含量：98.0重量％～99.5重量％、钛氧化物的含量：0.5重量％～2重量％，使陶瓷喷镀皮膜(10)的膜厚为50μm～100μm，使陶瓷喷镀皮膜(10)的体积电阻率为1013Ωcm～1016Ωcm，使绝缘击穿电压为35kV/mm以上。
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公开(公告)号：CN111357096A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201880074361.7
申请日：2018-10-29
申请人： 东华隆株式会社
IPC分类号： H01L21/683 , H05B3/02 , H05B3/20 , H05B3/72
摘要： 本发明提供一种能够提高加热器区域内的温度均匀性、并且可以维持耐久性的发热部件。发热部件(1)包括基材部(2)、以及设置在该基材部(2)的外部且通过供电而发热的薄膜加热器(4)。薄膜加热器(4)由热喷涂皮膜形成。薄膜加热器(4)具有配设在基材部(2)的第一端面(2a)上的加热器本体(10)、以及从加热器本体(10)通过基材部(2)的侧面(2c)延设至基材部(2)的第二端面的加热器延设部(11)，加热器延设部(11)的前端部分(11s)是向加热器本体(10)供电的加热器供电部(12)。
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公开(公告)号：CN105428195A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510578768.1
申请日：2015-09-11
申请人： 东京毅力科创株式会社 , 东华隆株式会社
CPC分类号： C23C4/134 , C23C4/005 , C23C4/01 , C23C4/02 , C23C4/06 , C23C4/105 , C23C4/11 , C23C4/127 , C23C4/131 , C23C28/042
摘要： 本发明的课题在于抑制从氟化钇制的喷镀被膜产生微粒。本发明的解决方法在于提供一种在等离子体处理装置内被暴露于等离子体中的部件。该部件具有基材和被膜。基材例如为铝制或铝合金制。可以在基材的表面形成耐酸铝膜。被膜通过在包括基材或设置于该基材上的层的基底的表面上喷镀氟化钇而形成。该部件的被膜内的气孔率为4％以下，该被膜的表面的算术平均粗糙度(Ra)为4.5μm以下。
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公开(公告)号：CN105051240A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480016798.7
申请日：2014-01-07
申请人： 东华隆株式会社
发明人： 虻川志向
CPC分类号： C23C4/18 , C23C4/11 , C23C4/134 , F16C19/06 , F16C19/52 , F16C33/62 , F16C33/64 , F16C2223/42
摘要： 一种防电腐蚀用滚动轴承(1)，其具备金属制的外轮(2)和藉由多个滚动体(5)所配置的金属制的内轮(3)，在外轮(2)或内轮(3)的外表面(21)、(31)通过等离子体喷镀法形成有防电腐蚀用的陶瓷喷镀皮膜(10)。使被覆的外轮(2)或内轮(3)的外表面(21)、(31)的表面粗糙度为Ra：0.5μm～2.0μm，使陶瓷喷镀皮膜(10)的组成为铝氧化物的含量：98.0重量％～99.5重量％、钛氧化物的含量：0.5重量％～2重量％，使陶瓷喷镀皮膜(10)的膜厚为50μm～100μm，使陶瓷喷镀皮膜(10)的体积电阻率为1013Ωcm～1016Ωcm，使绝缘击穿电压为35kV/mm以上。
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