公开(公告)号：CN110007117A

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201811572835.9

申请日：2018-12-21

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 徐先达 ,  许育祯 ,  吴卿华 ,  周冠军 ,  范宏光

IPC: G01R1/073

Abstract: 本发明公开了一种探针卡，包含空间转换器、印刷电路板以及多个焊接元件。空间转换器设置有第一导电凸块，第一导电凸块具有第一端面。印刷电路板设置有第二导电凸块，第二导电凸块具有第二端面。焊接元件分别电性连接于第二端面与对应的第一端面之间。空间转换器背离印刷电路板的第一表面具有第一平整度，印刷电路板背离空间转换器的第二表面具有第二平整度，第一平整度小于第二平整度。探针卡能使空间转换器与印刷电路板稳妥地固定，以增加制成品的稳定性。

公开(公告)号：CN104076172B

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201410037002.8

申请日：2014-01-24

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 周冠军 ,  徐火刚 ,  杨惠彬 ,  王千魁

IPC: G01R1/073 ,  G01R3/00

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/07378 ,  Y10T29/49128

Abstract: 本发明涉及一种用于探针卡的空间转换器的制造方法，包含有下列步骤：a)在一第一基板上固设多个第二基板，并使得第一基板与各第二基板电性连接；b)利用微影技术在各第二基板上设置一具有多个穿孔的绝缘强化层；c)在各穿孔内分别形成一与第二基板固定并电性连接的导电块；由于导电块是在第一、二基板固定后才形成，因此导电块的位置可避免受到基板相接时产生的位移影响，而且，该制造方法更可在步骤c)之后将导电块平坦化；由此，该制造方法可使探针接设于导电块时不需再调整位置及平整度。

公开(公告)号：CN104793026A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201410814572.3

申请日：2014-12-24

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 谢坤翰 ,  徐火刚 ,  周冠军 ,  陈宗毅 ,  李忠哲

IPC: G01R1/073 ,  G01R3/00

CPC classification number: B23K1/0016 ,  H01L24/12 ,  H01L24/81

Abstract: 本发明涉及一种应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法，该支撑结构包括一基板、一薄形化的空间转换板、多个焊球与光阻支撑块。基板具有多个第一内部导电线路。空间转换板具有多个第二内部导电线路。焊球介于基板与空间转换板之间，分别电性连接第一内部导电线路与第二内部导电线路。光阻支撑块介于基板与空间转换板之间，彼此分离地排列，且是通过微影制程所形成。至少其中一该光阻支撑块位于二相邻焊球之间。该制作方法为先提供该基板、该空间转换板、各光阻支撑块及焊球，再利用各焊球将该空间转换板与该基板进行回焊。

公开(公告)号：CN104076172A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410037002.8

申请日：2014-01-24

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 周冠军 ,  徐火刚 ,  杨惠彬 ,  王千魁

IPC: G01R1/073 ,  G01R3/00

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/07378 ,  Y10T29/49128

Abstract: 本发明涉及一种用于探针卡的空间转换器的制造方法，包含有下列步骤：a)在一第一基板上固设多个第二基板，并使得第一基板与各第二基板电性连接；b)利用微影技术在各第二基板上设置一具有多个穿孔的绝缘强化层；c)在各穿孔内分别形成一与第二基板固定并电性连接的导电块；由于导电块是在第一、二基板固定后才形成，因此导电块的位置可避免受到基板相接时产生的位移影响，而且，该制造方法更可在步骤c)之后将导电块平坦化；由此，该制造方法可使探针接设于导电块时不需再调整位置及平整度。

公开(公告)号：CN104793026B

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201410814572.3

申请日：2014-12-24

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 谢坤翰 ,  徐火刚 ,  周冠军 ,  陈宗毅 ,  李忠哲

IPC: G01R1/073 ,  G01R3/00

CPC classification number: B23K1/0016 ,  H01L24/12 ,  H01L24/81

Abstract: 本发明涉及一种应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法，该支撑结构包括一基板、一薄形化的空间转换板、多个焊球与光阻支撑块。基板具有多个第一内部导电线路。空间转换板具有多个第二内部导电线路。焊球介于基板与空间转换板之间，分别电性连接第一内部导电线路与第二内部导电线路。光阻支撑块介于基板与空间转换板之间，彼此分离地排列，且是通过微影制程所形成。至少其中一该光阻支撑块位于二相邻焊球之间。该制作方法为先提供该基板、该空间转换板、各光阻支撑块及焊球，再利用各焊球将该空间转换板与该基板进行回焊。