公开(公告)号：CN104793026A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201410814572.3

申请日：2014-12-24

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 谢坤翰 ,  徐火刚 ,  周冠军 ,  陈宗毅 ,  李忠哲

IPC: G01R1/073 ,  G01R3/00

CPC classification number: B23K1/0016 ,  H01L24/12 ,  H01L24/81

Abstract: 本发明涉及一种应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法，该支撑结构包括一基板、一薄形化的空间转换板、多个焊球与光阻支撑块。基板具有多个第一内部导电线路。空间转换板具有多个第二内部导电线路。焊球介于基板与空间转换板之间，分别电性连接第一内部导电线路与第二内部导电线路。光阻支撑块介于基板与空间转换板之间，彼此分离地排列，且是通过微影制程所形成。至少其中一该光阻支撑块位于二相邻焊球之间。该制作方法为先提供该基板、该空间转换板、各光阻支撑块及焊球，再利用各焊球将该空间转换板与该基板进行回焊。

公开(公告)号：CN104793026B

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201410814572.3

申请日：2014-12-24

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 谢坤翰 ,  徐火刚 ,  周冠军 ,  陈宗毅 ,  李忠哲

IPC: G01R1/073 ,  G01R3/00

CPC classification number: B23K1/0016 ,  H01L24/12 ,  H01L24/81

Abstract: 本发明涉及一种应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法，该支撑结构包括一基板、一薄形化的空间转换板、多个焊球与光阻支撑块。基板具有多个第一内部导电线路。空间转换板具有多个第二内部导电线路。焊球介于基板与空间转换板之间，分别电性连接第一内部导电线路与第二内部导电线路。光阻支撑块介于基板与空间转换板之间，彼此分离地排列，且是通过微影制程所形成。至少其中一该光阻支撑块位于二相邻焊球之间。该制作方法为先提供该基板、该空间转换板、各光阻支撑块及焊球，再利用各焊球将该空间转换板与该基板进行回焊。