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公开(公告)号：CN104793026B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201410814572.3
申请日：2014-12-24
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
CPC classification number: B23K1/0016 , H01L24/12 , H01L24/81
Abstract: 本发明涉及一种应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法，该支撑结构包括一基板、一薄形化的空间转换板、多个焊球与光阻支撑块。基板具有多个第一内部导电线路。空间转换板具有多个第二内部导电线路。焊球介于基板与空间转换板之间，分别电性连接第一内部导电线路与第二内部导电线路。光阻支撑块介于基板与空间转换板之间，彼此分离地排列，且是通过微影制程所形成。至少其中一该光阻支撑块位于二相邻焊球之间。该制作方法为先提供该基板、该空间转换板、各光阻支撑块及焊球，再利用各焊球将该空间转换板与该基板进行回焊。
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公开(公告)号：CN104950148B
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201510128996.9
申请日：2015-03-24
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/0408 , G01R1/067 , G01R1/07357 , G01R1/07371 , G01R31/2891
Abstract: 本发明涉及一种垂直式探针装置，包含一有多个卡接孔及探针安装孔的下导板、一有多个限位孔及探针安装孔的定位片、多个穿过下导板及定位片的探针安装孔的探针及多个支撑柱，支撑柱有依序连接的一头部、一颈部、一身部及一尾部，以及分别位于头部及身部的上、下挡止面至少其中之一，颈部穿设于限位孔且长度大于定位片的厚度，定位片能移动地被限位于上、下挡止面之间，尾部卡接于下导板的卡接孔；各支撑柱能避免定位片被翻起，并让定位片能位移而使探针不易损坏，本发明的垂直式探针装置结构简单、易安装，并适用于顶部需容纳电子元件的状况。
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公开(公告)号：CN102914673B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201210260925.0
申请日：2012-07-25
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/07378
Abstract: 一种探针测试装置，其包括一电路板、一增强板、至少一空间转换板、与至少一探针组。增强板设置在电路板上，且增强板的内部导电线路是与电路板上的导电线路电性连接，于增强板中设置有多个容置空间。另外，空间转换板设置在增强板上，所述的空间转换板的内部导电线路是借由多个第一锡球而与增强板的内部导电线路电性连接。此外，探针组是设置在空间转换板上，且探针组包括多个探针。其中，第一锡球是位于容置空间内，而增强板则抵接着空间转换板。
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公开(公告)号：CN103163445A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201210479017.0
申请日：2012-11-22
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/0408 , G01R1/0416
Abstract: 本发明是一种芯片电性侦测装置及其形成方法，其根据转换基板的特征，决定出一补强结构的结构，并将转换基板、补强结构以及一基板相耦接以形成芯片电性侦测装置。在一实施例中，电性侦测装置包括一基板、一转换基板、一探针模块以及一补强结构。该转换基板的一表面上具有与该基板相耦接的复数个第一导电体，该转换基板的另一表面上具有复数个第二导电体。该探针模块具有分别与该复数个第二导电体电性连接的复数个探针。该补强结构设置于该转换基板与该基板之间。
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公开(公告)号：CN105223385A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510361788.3
申请日：2015-06-26
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
CPC classification number: G01R1/07364 , G01R1/07357 , G01R31/2891
Abstract: 本发明涉及一种探针卡的定位件与探针头。定位件有一主开口、一第一副开口、一第二副开口、至少一定位部与至少一弹性部。第一副开口与第二副开口排列于主开口的周围并连通于主开口。至少一定位部与至少一弹性部互补。至少一弹性部位于第一副开口与第二副开口之间。至少一定位部的刚性大于至少一弹性部的刚性。由此，可降低探针卡的探针头的组装难度且提高探针卡的探针头的产品合格率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104950148A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510128996.9
申请日：2015-03-24
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/0408 , G01R1/067 , G01R1/07357 , G01R1/07371 , G01R31/2891
Abstract: 本发明涉及一种垂直式探针装置，包含一有多个卡接孔及探针安装孔的下导板、一有多个限位孔及探针安装孔的定位片、多个穿过下导板及定位片的探针安装孔的探针及多个支撑柱，支撑柱有依序连接的一头部、一颈部、一身部及一尾部，以及分别位于头部及身部的上、下挡止面至少其中之一，颈部穿设于限位孔且长度大于定位片的厚度，定位片能移动地被限位于上、下挡止面之间，尾部卡接于下导板的卡接孔；各支撑柱能避免定位片被翻起，并让定位片能位移而使探针不易损坏，本发明的垂直式探针装置结构简单、易安装，并适用于顶部需容纳电子元件的状况。
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公开(公告)号：CN102998491A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210293190.1
申请日：2012-08-16
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/07378 , H01F38/20 , H01F41/00 , H05K3/241 , H05K3/32 , Y10T29/4902 , Y10T29/49124
Abstract: 一种探针测试装置与其制造方法，制造方法包括下述步骤。首先，将多个空间转换板定位于增强板上，空间转换板具有多个第一焊垫。之后，将空间转换板固定于增强板，并使空间转换板电性连接于增强板。然后，于空间转换板上形成具有开口的光阻图案，第一焊垫位于开口内。之后，于开口内形成覆盖第一焊垫的金属层。接着，去除光阻图案并将金属层平坦化以形成第二焊垫。之后，将增强板与电路板电性连接。再来，提供具有多个探针区的探针头，每一探针区皆对应到其中一空间转换板，其中探针区上的探针借由第二焊垫与空间转换板的内部电路电性连接。
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公开(公告)号：CN102914673A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210260925.0
申请日：2012-07-25
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/07378
Abstract: 一种探针测试装置，其包括一电路板、一增强板、至少一空间转换板、与至少一探针组。增强板设置在电路板上，且增强板的内部导电线路是与电路板上的导电线路电性连接，于增强板中设置有多个容置空间。另外，空间转换板设置在增强板上，所述的空间转换板的内部导电线路是借由多个第一锡球而与增强板的内部导电线路电性连接。此外，探针组是设置在空间转换板上，且探针组包括多个探针。其中，第一锡球是位于容置空间内，而增强板则抵接着空间转换板。
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公开(公告)号：CN105223385B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201510361788.3
申请日：2015-06-26
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
CPC classification number: G01R1/07364 , G01R1/07357 , G01R31/2891
Abstract: 本发明涉及一种探针卡的定位件与探针头。定位件有一主开口、一第一副开口、一第二副开口、至少一定位部与至少一弹性部。第一副开口与第二副开口排列于主开口的周围并连通于主开口。至少一定位部与至少一弹性部互补。至少一弹性部位于第一副开口与第二副开口之间。至少一定位部的刚性大于至少一弹性部的刚性。由此，可降低探针卡的探针头的组装难度且提高探针卡的探针头的产品合格率。
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公开(公告)号：CN102478590A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201010552375.0
申请日：2010-11-22
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
Abstract: 一种直接针测式的探针测试装置，此探针测试装置包括：探针接口板、空间转换器、导电弹性机构、固定框、与垂直式探针组。空间转换器包括空间转换板与增强板，增强板与空间转换板电连接，且增强板的机械强度大于空间转换板。导电弹性机构分别与探针接口板与增强板电连接。固定框包括：补强圈、框体、与抵压部，补强圈是设置在探针接口板上，而框体内则容纳着导电弹性机构，且抵压部抵压着空间转换器。垂直式探针组包括多个垂直式探针，这些垂直式探针是与空间转换板电连接。
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