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公开(公告)号：CN101339316A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200710123230.7
申请日：2007-07-02
申请人： 显示器生产服务株式会社
发明人： 李硕周
IPC分类号： G02F1/1333 , H01L21/677 , B65G49/06
摘要： 本发明提供了一种在制造平板显示器用基板的各工序的输送线中，可连续投入及输出基板的基板输送装置。所述基板输送装置包括：基板输送单元，其配置有相隔一定距离的多个输送辊，并且在所述输送辊上面以水平或倾斜状态输送基板；缓冲臂，其上面可放置基板，并且通过上/下移动向所述输送辊移交基板或从所述输送辊上承接基板；支架，其具备将所述缓冲臂上/下移动的驱动单元，并且用于固定所述缓冲臂，使所述缓冲臂移动到可以移交或承接基板的状态；以及状态变换单元，其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架，并且产生旋转力，使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态。
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公开(公告)号：CN1970412A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610144944.1
申请日：2006-11-22
申请人： 显示器生产服务株式会社
IPC分类号： B65G47/24 , B65G47/52 , B65G13/00 , B65G13/075 , B65G49/05
摘要： 本发明涉及一种在基板处理线之间直角转向输送基板的基板输送装置，该装置安装在基板处理线的直角转向部中，其包括：框架部，具有相对放置的二框架，而其中一侧框架垂直方向上的位置高于另一侧框架垂直方向上的位置；转动辊部，可转动地安装于上述框架部上，并用于输送基板；辊驱动部，一体安装于上述框架部上，为输送基板向转动辊部施加转动力并控制转动速度；框架驱动部，可转动地结合于上述框架部的底部，当基板以倾斜状态送到上述框架部上时，直角转动上述框架部，并从另一侧送出基板。
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公开(公告)号：CN1847117A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610073030.0
申请日：2006-04-10
申请人： 显示器生产服务株式会社
摘要： 本发明涉及一种叠层基板输送装置，包括：架子；设置于所述架子，用于通过直径大于一定值的辊子输送基板，在所述辊子的轴和所设置的基板间形成一定空间的上部输送机构；设置于所述架子的高端，用于输送基板的至少两个可旋转的第一输送辊；设置于所述架子的低端并可旋转，其直径大于所述第一输送辊的直径，用于从所述第一输送辊接收基板的至少两个第二输送辊；用于使所述第二输送辊同时在所述架子的低端进行前后移动，并可使所述基板沿水平方向移动的移动板；设置于所述架子的一侧，其前端进入所述上部输送机构的所述空间，用于接收/供应基板的缓冲装置；通过所述缓冲装置接收/供应所述基板，以此输送基板的下部输送机构及基板处理装置。
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公开(公告)号：CN1316560C
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200410048730.5
申请日：2004-06-15
申请人： 显示器生产服务株式会社
CPC分类号： H01L21/6719 , H01L21/67028 , H01L21/67196
摘要： 一种衬底输送/处理系统包括：衬底堆垛基座；用于从/向基座接收/输送衬底的衬底输送构件；用于清洁和干燥从衬底输送构件输送的衬底的衬底清洁/干燥装置；用于处理经过衬底清洁/干燥装置清洁和干燥、并且通过衬底输送构件输送的衬底的衬底处理装置。
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公开(公告)号：CN1821885A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610007433.5
申请日：2006-02-10
申请人： 显示器生产服务株式会社
IPC分类号： G03F7/42
摘要： 本发明公开了一种可再生及循环利用碳酸酯(carbonate)类有机溶剂的有机溶剂再生系统，所述碳酸酯(carbonate)类有机溶剂用于去除制造平板显示器用基板过程中成形于基板上的感光薄膜。本发明的有机溶剂再生系统包括：可储存有机溶剂、并设置有可使有机溶剂注入或排出的多个管道的第一储液罐；结合于所述第一储液罐，并用于向储存于所述第一储液罐内的有机溶剂照射紫外线的紫外线照射器；连接于所述第一储液罐，并用于向所述第一储液罐内部注入氧气，使所述氧气与所述紫外线发生反应，以分解有机物的氧气注入器。
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公开(公告)号：CN1970412B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN200610144944.1
申请日：2006-11-22
申请人： 显示器生产服务株式会社
摘要： 本发明涉及一种在基板处理线之间直角转向输送基板的基板输送装置，该装置安装在基板处理线的直角转向部中，其包括：框架部，具有相对放置的二框架，而其中一侧框架垂直方向上的位置高于另一侧框架垂直方向上的位置；转动辊部，可转动地安装于上述框架部上，并用于输送基板；辊驱动部，一体安装于上述框架部上，为输送基板向转动辊部施加转动力并控制转动速度；框架驱动部，可转动地结合于上述框架部的底部，当基板以倾斜状态送到上述框架部上时，直角转动上述框架部，并从另一侧送出基板。
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公开(公告)号：CN1847117B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200610073030.0
申请日：2006-04-10
申请人： 显示器生产服务株式会社
摘要： 本发明涉及一种叠层基板输送装置，包括：架子；设置于所述架子，用于通过直径大于一定值的辊子输送基板，在所述辊子的轴和所设置的基板间形成一定空间的上部输送机构；设置于所述架子的高端，用于输送基板的至少两个可旋转的第一输送辊；设置于所述架子的低端并可旋转，其直径大于所述第一输送辊的直径，用于从所述第一输送辊接收基板的至少两个第二输送辊；用于使所述第二输送辊同时在所述架子的低端进行前后移动，并可使所述基板沿水平方向移动的移动板；设置于所述架子的一侧，其前端进入所述上部输送机构的所述空间，用于接收/供应基板的缓冲装置；通过所述缓冲装置接收/供应所述基板，以此输送基板的下部输送机构及基板处理装置。
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公开(公告)号：CN101339316B
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200710123230.7
申请日：2007-07-02
申请人： 显示器生产服务株式会社
发明人： 李硕周
IPC分类号： G02F1/1333 , H01L21/677 , B65G49/06
摘要： 本发明提供了一种在制造平板显示器用基板的各工序的输送线中，可连续投入及输出基板的基板输送装置。所述基板输送装置包括：基板输送单元，其配置有相隔一定距离的多个输送辊，并且在所述输送辊上面以水平或倾斜状态输送基板；缓冲臂，其上面可放置基板，并且通过上/下移动向所述输送辊移交基板或从所述输送辊上承接基板；支架，其具备将所述缓冲臂上/下移动的驱动单元，并且用于固定所述缓冲臂，使所述缓冲臂移动到可以移交或承接基板的状态；以及状态变换单元，其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架，并且产生旋转力，使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态。
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公开(公告)号：CN101498902B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910005261.1
申请日：2009-01-21
申请人： 显示器生产服务株式会社
IPC分类号： H01L21/677 , G03F7/30
CPC分类号： H01L21/67718 , G02F1/1303 , H01L21/6776
摘要： 本发明公开一种基板输送装置，其设计为提供提高在基板输送期间工作液(显影液)的液体回收效率的倾斜输送功能。所述基板输送装置包括用于输送基板的第一输送单元、与所述第一输送单元的一端间隔的第二输送单元、设置在所述第一输送单元及所述第二输送单元之间并且提供能够在基板输送期间回收附着在基板上的显影液的倾斜输送的第三输送单元，及用于控制所述第三输送单元的倾斜输送角度及连接状态的输送控制器。
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公开(公告)号：CN101498902A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200910005261.1
申请日：2009-01-21
申请人： 显示器生产服务株式会社
IPC分类号： G03F7/30 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67718 , G02F1/1303 , H01L21/6776
摘要： 本发明公开一种基板输送装置，其设计为提供提高在基板输送期间工作液(显影液)的液体回收效率的倾斜输送功能。所述基板输送装置包括用于输送基板的第一输送单元、与所述第一输送单元的一端间隔的第二输送单元、设置在所述第一输送单元及所述第二输送单元之间并且提供能够在基板输送期间回收附着在基板上的显影液的倾斜输送的第三输送单元，及用于控制所述第三输送单元的倾斜输送角度及连接状态的输送控制器。
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