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发明公开
衬底表面的原位监测审中-实审

公开(公告)号：CN114556096A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202080073082.6

申请日：2020-09-29

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 马尼什·兰詹 , 安德鲁·詹姆斯·普福 , 道格拉斯·希尔 , 道格拉斯·科勒 , 伯顿·威廉姆斯 , 尚蒂纳特·古艾迪

IPC分类号： G01N27/904 , G01N27/9013 , C23C16/52 , C23C14/54

摘要： 在一些示例中，提供了一种真空预处理模块(VPM)计量系统，其用于测量衬底上的层的薄层电阻。所述系统可以包含：涡流传感器，所述涡流传感器包括发送器传感器与接收器传感器，所述发送器传感器与所述接收器传感器限定所述发送器传感器与所述接收器传感器之间的间隙，所述间隙用于容纳待测试的衬底的边缘。传感器控制器从所述涡流传感器接收测量信号。数据处理器处理所述测量信号并且产生所述衬底上的所述层的薄层电阻值。