公开(公告)号：CN105938785B

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201610116444.0

申请日：2016-03-02

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 阿列克谢·马拉霍塔诺夫 ,  菲力克斯·科扎克维奇 ,  约翰·帕特里克·霍兰德 ,  布雷特·雅各布斯

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32183 ,  H01F38/14 ,  H01F2038/146 ,  H01J37/32128 ,  H01J37/3255 ,  H01J37/32568 ,  H03H7/38 ,  H03H7/40

摘要： 本发明涉及用于用RF产生器操作以控制等离子体工艺的阻抗匹配电路，描述了一种阻抗匹配电路(IMC)。所述阻抗匹配电路包括第一电路。第一电路具有耦合到千赫(kHz)射频(RF)产生器的输入。IMC包括第二电路。所述第二电路具有耦合到低频兆赫(MHz)RF产生器的输入。IMC包括第三电路。所述第三电路具有耦合到高频MHz RF产生器的输入。IMC包括第一、第二和第三电路的耦合到RF传输线的输入的输出。第一电路和第二电路提供通过第一电路发送的kHz RF信号和通过第二电路发送的低频MHz RF信号之间的隔离。

公开(公告)号：CN105938785A

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201610116444.0

申请日：2016-03-02

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 阿列克谢·马拉霍塔诺夫 ,  菲力克斯·科扎克维奇 ,  约翰·帕特里克·霍兰德 ,  布雷特·雅各布斯

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32183 ,  H01F38/14 ,  H01F2038/146 ,  H01J37/32128 ,  H01J37/3255 ,  H01J37/32568 ,  H03H7/38 ,  H03H7/40 ,  H01J37/32807

摘要： 本发明涉及用于用RF产生器操作以控制等离子体工艺的阻抗匹配电路，描述了一种阻抗匹配电路(IMC)。所述阻抗匹配电路包括第一电路。第一电路具有耦合到千赫(kHz)射频(RF)产生器的输入。IMC包括第二电路。所述第二电路具有耦合到低频兆赫(MHz)RF产生器的输入。IMC包括第三电路。所述第三电路具有耦合到高频MHz RF产生器的输入。IMC包括第一、第二和第三电路的耦合到RF传输线的输入的输出。第一电路和第二电路提供通过第一电路发送的kHz RF信号和通过第二电路发送的低频MHz RF信号之间的隔离。

公开(公告)号：CN108682610B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201810309554.8

申请日：2016-03-02

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 阿列克谢·马拉霍塔诺夫 ,  菲力克斯·科扎克维奇 ,  约翰·帕特里克·霍兰德 ,  布雷特·雅各布斯

IPC分类号： H01J37/32

摘要： 本发明涉及用于用RF产生器操作以控制等离子体工艺的阻抗匹配电路，描述了一种阻抗匹配电路(IMC)。所述阻抗匹配电路包括第一电路。第一电路具有耦合到千赫(kHz)射频(RF)产生器的输入。IMC包括第二电路。所述第二电路具有耦合到低频兆赫(MHz)RF产生器的输入。IMC包括第三电路。所述第三电路具有耦合到高频MHz RF产生器的输入。IMC包括第一、第二和第三电路的耦合到RF传输线的输入的输出。第一电路和第二电路提供通过第一电路发送的kHz RF信号和通过第二电路发送的低频MHz RF信号之间的隔离。

公开(公告)号：CN108682610A

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201810309554.8

申请日：2016-03-02

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 阿列克谢·马拉霍塔诺夫 ,  菲力克斯·科扎克维奇 ,  约翰·帕特里克·霍兰德 ,  布雷特·雅各布斯

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32183 ,  H01F38/14 ,  H01F2038/146 ,  H01J37/32128 ,  H01J37/3255 ,  H01J37/32568 ,  H03H7/38 ,  H03H7/40 ,  H01J37/32807 ,  H01J37/32431

摘要： 本发明涉及用于用RF产生器操作以控制等离子体工艺的阻抗匹配电路，描述了一种阻抗匹配电路(IMC)。所述阻抗匹配电路包括第一电路。第一电路具有耦合到千赫(kHz)射频(RF)产生器的输入。IMC包括第二电路。所述第二电路具有耦合到低频兆赫(MHz)RF产生器的输入。IMC包括第三电路。所述第三电路具有耦合到高频MHz RF产生器的输入。IMC包括第一、第二和第三电路的耦合到RF传输线的输入的输出。第一电路和第二电路提供通过第一电路发送的kHz RF信号和通过第二电路发送的低频MHz RF信号之间的隔离。