公开(公告)号：CN101529576A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200780040062.3

申请日：2007-10-04

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 爱德华·阿尔马尼尼

IPC分类号： H01L21/68

CPC分类号： H01L21/6723 ,  C23C18/1619 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/68764

摘要： 一种体结构具有形成该体结构内腔体的内部区域形状。该体结构内的腔体设计为容纳流体。一种卡盘包括能够夹持基片的顶部，以及具有与该体结构的内部区域形状互补的形状的体部分。该卡盘体部分的互补形状至少部分与形成该体结构腔体的该内部区域形状对齐。该卡盘体部分设计为移进该体结构的腔体并排开该腔体内的流体，以便将该流体转移到该卡盘的顶部。该卡盘的体部分还设计为移出该体结构的腔体，以便将该流体从该卡盘的顶部移除。

公开(公告)号：CN101529576B

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN200780040062.3

申请日：2007-10-04

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 爱德华·阿尔马尼尼

IPC分类号： H01L21/68

CPC分类号： H01L21/6723 ,  C23C18/1619 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/68764

摘要： 一种体结构具有形成该体结构内腔体的内部区域形状。该体结构内的腔体设计为容纳流体。一种卡盘包括能够夹持基片的顶部，以及具有与该体结构的内部区域形状互补的形状的体部分。该卡盘体部分的互补形状至少部分与形成该体结构腔体的该内部区域形状对齐。该卡盘体部分设计为移进该体结构的腔体并排开该腔体内的流体，以便将该流体转移到该卡盘的顶部。该卡盘的体部分还设计为移出该体结构的腔体，以便将该流体从该卡盘的顶部移除。