公开(公告)号：CN104953027B

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201510140906.8

申请日：2015-03-27

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 沈美华 ,  哈梅特·辛格 ,  萨曼塔·S·H·坦 ,  杰弗里·马克斯 ,  索斯滕·利尔 ,  理查德·P·雅内克 ,  杨文斌 ,  普利素·沙马

IPC分类号： H01L43/12

CPC分类号： H01L43/12 ,  C23F1/08 ,  C23F1/12 ,  C23F4/00 ,  H01L21/02554 ,  H01L27/228 ,  H01L43/02 ,  H01L43/10 ,  H01L45/1675

摘要： 本发明涉及蚀刻非挥发性金属材料的方法，具体提供了一种在一个或者多个循环内蚀刻具有至少一个金属层的堆叠的方法。实施初始步骤，将至少一个金属层的一部分转化成金属氧化物、金属卤化物或者晶格损坏的金属部位。实施反应步骤，提供一个或者多个循环，其中每个循环包括提供有机溶剂蒸气以形成溶剂化的金属、金属卤化物或者金属氧化物的状态，以及提供有机配体溶剂以形成挥发性的有机金属化合物。实施挥发性的有机金属化合物的解吸。

公开(公告)号：CN108682737A

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201810360987.6

申请日：2015-03-27

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 沈美华 ,  哈梅特·辛格 ,  萨曼塔·S·H·坦 ,  杰弗里·马克斯 ,  索斯滕·利尔 ,  理查德·P·雅内克 ,  杨文斌 ,  普利素·沙马

IPC分类号： H01L43/12

CPC分类号： H01L43/12 ,  C23F1/08 ,  C23F1/12 ,  C23F4/00 ,  H01L21/02554 ,  H01L27/228 ,  H01L43/02 ,  H01L43/10 ,  H01L45/1675

摘要： 本发明涉及蚀刻非挥发性金属材料的方法，具体提供了一种在一个或者多个循环内蚀刻具有至少一个金属层的堆叠的方法。实施初始步骤，将至少一个金属层的一部分转化成金属氧化物、金属卤化物或者晶格损坏的金属部位。实施反应步骤，提供一个或者多个循环，其中每个循环包括提供有机溶剂蒸气以形成溶剂化的金属、金属卤化物或者金属氧化物的状态，以及提供有机配体溶剂以形成挥发性的有机金属化合物。实施挥发性的有机金属化合物的解吸。

公开(公告)号：CN104953027A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510140906.8

申请日：2015-03-27

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 沈美华 ,  哈梅特·辛格 ,  萨曼塔·S·H·坦 ,  杰弗里·马克斯 ,  索斯滕·利尔 ,  理查德·P·雅内克 ,  杨文斌 ,  普利素·沙马

IPC分类号： H01L43/12

CPC分类号： H01L43/12 ,  C23F1/08 ,  C23F1/12 ,  C23F4/00 ,  H01L21/02554 ,  H01L27/228 ,  H01L43/02 ,  H01L43/10 ,  H01L45/1675

摘要： 本发明涉及蚀刻非挥发性金属材料的方法，具体提供了一种在一个或者多个循环内蚀刻具有至少一个金属层的堆叠的方法。实施初始步骤，将至少一个金属层的一部分转化成金属氧化物、金属卤化物或者晶格损坏的金属部位。实施反应步骤，提供一个或者多个循环，其中每个循环包括提供有机溶剂蒸气以形成溶剂化的金属、金属卤化物或者金属氧化物的状态，以及提供有机配体溶剂以形成挥发性的有机金属化合物。实施挥发性的有机金属化合物的解吸。