公开(公告)号：CN103990815A

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201410042249.9

申请日：2014-01-28

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 约翰·F·斯顿夫 ,  蒂莫西·戴尔 ,  大卫·艾伦·鲁伯格 ,  利华·L·黄

IPC分类号： B23B1/00

CPC分类号： B28D1/16 ,  B23B1/00 ,  B23B5/00 ,  B23B27/20 ,  B23B2226/18 ,  B23K26/0006 ,  B23K2103/56 ,  B23P6/00 ,  B23P25/006 ,  C23C14/564 ,  C23C16/4404 ,  H01J37/32467 ,  H01L21/3065 ,  Y10T29/4973 ,  Y10T82/10

摘要： 本发明提供了一种等离子体加工装置的硬而脆部件的延性模式机加工方法，即一种等离子体加工装置的部件的延性模式机加工方法，其中所述部件是由非金属的硬而脆材料制成的，其中所述方法包括：使用金刚石切削刀具单点车削所述部件，使得所述非金属的硬而脆材料的一部分在切屑形成期间经历高压相变以形成所述硬而脆材料的延性相部分，其中车削表面是由相变材料形成的并且所述车削表面是所述相变材料的槽纹表面。

公开(公告)号：CN103990815B

公开(公告)日：2018-09-18

申请号：CN201410042249.9

申请日：2014-01-28

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 约翰·F·斯顿夫 ,  蒂莫西·戴尔 ,  大卫·艾伦·鲁伯格 ,  利华·L·黄

IPC分类号： B23B1/00

摘要： 本发明提供了一种等离子体加工装置的硬而脆部件的延性模式机加工方法，即一种等离子体加工装置的部件的延性模式机加工方法，其中所述部件是由非金属的硬而脆材料制成的，其中所述方法包括：使用金刚石切削刀具单点车削所述部件，使得所述非金属的硬而脆材料的一部分在切屑形成期间经历高压相变以形成所述硬而脆材料的延性相部分，其中车削表面是由相变材料形成的并且所述车削表面是所述相变材料的槽纹表面。