加热装置、真空加热方法和薄膜制造方法

    公开(公告)号:CN103080366B

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201280002579.4

    申请日:2012-06-28

    CPC classification number: H01M10/04 C23C14/24 C23C14/243 C23C14/562

    Abstract: 一种加热装置,其具备:应在真空中被加热的被加热体;构成为能够从被加热体分离、并且在自身与被加热体之间形成有间隙的加热体;和用于向间隙导入传热气体的气体导入路径。被加热体通过传热气体由加热体加热。加热装置的例子是蒸着装置(30)。被加热体的例子是保持蒸镀材料,并且具有供蒸发了的蒸镀材料通过的开口部的贮藏容器(9)。加热体的例子是可拆装地收纳贮藏容器(9)、并且为了对贮藏容器(9)内的蒸镀材料进行加热而具有加热器(20)的加热容器(10)。气体导入路径的例子是气体导入管(11)。

    蒸镀膜的形成方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101932748B

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN200980103569.8

    申请日:2009-02-06

    CPC classification number: C23C14/225 C23C14/562 H01M10/0525 H01M10/058

    Abstract: 本发明提供一种同时形成锂二次电池的集电引线形成部和电极活性物质部、批量生产性优异的真空蒸镀装置。在将闸门(12a、12b)关闭的状态下,将卷绕于第一辊(3)的基板(4)送出,向第二辊(8)搬送,直至到达第一和第二能够蒸镀区域(60a、60b)时停止。在此,打开闸门(12a),使蒸发源(9)的坩埚内的蒸镀原料蒸发,向位于第一能够蒸镀区域(60a)的基板(4)的表面供给。由此,在基板(4)的表面形成第一层蒸镀膜。以规定时间在基板(4)进行蒸镀之后,关闭闸门(12a)。接着再次搬送基板(4),使在第一能够蒸镀区域(60a)蒸镀形成的部分停止于第二能够蒸镀区域(60b)的位置。打开闸门(12a、12b),再次进行蒸镀,在第一能够蒸镀区域(60a)形成第一层,并且在第二能够蒸镀区域(60b),在第一层之上形成与第一层成长方向不同的第二层蒸镀膜。

    蒸镀装置及使用蒸镀装置的膜的制造方法

    公开(公告)号:CN101542008B

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN200880000483.8

    申请日:2008-03-10

    Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置,是通过在腔室(2)内以卷轴到卷轴的方式使片状的基板(4)移动,由此在基板(4)上连续形成蒸镀膜的蒸镀装置(100),具有:使蒸镀原料蒸发的蒸发源(9);包括卷绕保持基板(4)的第1及第2卷轴(3、8)和对基板(4)进行引导的引导部的输送部;配置在上述能够蒸镀的区域的、形成来自蒸发源(9)的蒸镀原料不能到达的遮蔽区域的遮蔽部,并且,蒸镀区域(60a~60d)包括按照使基板(4)的被蒸镀原料照射的面成为平面的方式输送基板(4)的平面输送区域,在除了遮蔽区域之外的能够蒸镀的区域中,按照使蒸镀材料不从基板(4)的法线方向入射到基板(4)的方式相对于蒸发源(9)配置输送部。

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