加热装置、真空加热方法和薄膜制造方法

    公开(公告)号:CN103080366B

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201280002579.4

    申请日:2012-06-28

    CPC classification number: H01M10/04 C23C14/24 C23C14/243 C23C14/562

    Abstract: 一种加热装置,其具备:应在真空中被加热的被加热体;构成为能够从被加热体分离、并且在自身与被加热体之间形成有间隙的加热体;和用于向间隙导入传热气体的气体导入路径。被加热体通过传热气体由加热体加热。加热装置的例子是蒸着装置(30)。被加热体的例子是保持蒸镀材料,并且具有供蒸发了的蒸镀材料通过的开口部的贮藏容器(9)。加热体的例子是可拆装地收纳贮藏容器(9)、并且为了对贮藏容器(9)内的蒸镀材料进行加热而具有加热器(20)的加热容器(10)。气体导入路径的例子是气体导入管(11)。

    薄膜形成装置及薄膜形成方法

    公开(公告)号:CN101946021B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200980105706.1

    申请日:2009-02-17

    CPC classification number: C23C14/562 C23C14/24 C23C14/541 C23C16/466

    Abstract: 本发明提供一种薄膜形成装置。该薄膜形成装置(100)具有:真空槽(1);设置在真空槽(1)内并向面对成膜源(27)的规定成膜位置(4)供给长条的衬底(8)的衬底输送机构(40);环形带(10),其能够与由衬底输送机构(40)进行的衬底(8)的供给相对应地运行,并以在直线输送中的衬底(8)的表面上形成薄膜的方式沿着环形带(10)自身的外周面限定成膜位置(4)处的衬底(8)的输送路径;形成在环形带(10)上的贯通孔(16);衬底冷却单元(30),其从运行中的环形带(10)的内周侧通过贯通孔(16)向环形带(10)和衬底(8)的背面之间导入冷却气体。

    蒸镀膜的形成方法
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101932748B

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN200980103569.8

    申请日:2009-02-06

    CPC classification number: C23C14/225 C23C14/562 H01M10/0525 H01M10/058

    Abstract: 本发明提供一种同时形成锂二次电池的集电引线形成部和电极活性物质部、批量生产性优异的真空蒸镀装置。在将闸门(12a、12b)关闭的状态下,将卷绕于第一辊(3)的基板(4)送出,向第二辊(8)搬送,直至到达第一和第二能够蒸镀区域(60a、60b)时停止。在此,打开闸门(12a),使蒸发源(9)的坩埚内的蒸镀原料蒸发,向位于第一能够蒸镀区域(60a)的基板(4)的表面供给。由此,在基板(4)的表面形成第一层蒸镀膜。以规定时间在基板(4)进行蒸镀之后,关闭闸门(12a)。接着再次搬送基板(4),使在第一能够蒸镀区域(60a)蒸镀形成的部分停止于第二能够蒸镀区域(60b)的位置。打开闸门(12a、12b),再次进行蒸镀,在第一能够蒸镀区域(60a)形成第一层,并且在第二能够蒸镀区域(60b),在第一层之上形成与第一层成长方向不同的第二层蒸镀膜。

    薄膜形成装置和薄膜形成方法

    公开(公告)号:CN101889103B

    公开(公告)日:2011-12-28

    申请号:CN200880119323.5

    申请日:2008-11-19

    CPC classification number: C23C14/541 C23C14/562 G11B5/85

    Abstract: 本发明的提供一种薄膜形成装置和薄膜形成方法。在使用气体冷却的成膜方法中,达成充分的冷却效果,并且避免气体导入引起的成膜率的降低和对真空泵的过大的负荷。本发明的薄膜形成装置包括在薄膜形成区域(14)中接近基板(7)的背面配置的冷却体(10);将气体向冷却体(10)与基板(7)的背面之间导入的气体导入机构;接近基板(7)的背面,将薄膜形成区域(14)分割为第一薄膜形成区域(14a)和成膜速度比第一薄膜形成区域(14a)低的第二薄膜形成区域(14b),且维持冷却体(10)与基板(7)的间隙的间隙维持机构(11)。冷却条件被设定为第一区域(14a)的冷却量比第二区域(14b)的冷却量大。

Patent Agency Ranking