公开(公告)号：CN100474508C

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：CN200680000112.0

申请日：2006-02-10

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 是永哲雄 ,  永留隆二

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  H01J37/32 ,  H05K13/02

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01J37/32752

Abstract: 在通过将衬底(11)容纳在处理腔(6)中而实现等离子处理的等离子处理装置中，由陶瓷制成的固定引导件(12)和可移动引导件(13)沿Y方向(沿衬底运输方向)排列，以引导保持在陶瓷制成的安装板(10)上的衬底的两个侧端部，并且可移动引导件(13)的两个端部由支撑构件支撑。在该构造中，这些支撑构件安装到沿Y方向布置的固定构件(15A和15B)上，安装板(10)设置在所述固定构件(15A和15B)之间，从而Y方向上的间距可调整。因此，陶瓷制成的引导构件(13)可以安装和拆卸，而不需要直接对其进行螺栓连接，并且可以通过将具有不同宽度尺寸的多产品薄类型衬底用作目标来防止产生不正常放电。

公开(公告)号：CN1943012A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200680000112.0

申请日：2006-02-10

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 是永哲雄 ,  永留隆二

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  H01J37/32 ,  H05K13/02

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01J37/32752

Abstract: 在通过将衬底(11)容纳在处理腔(6)中而实现等离子处理的等离子处理装置中，由陶瓷制成的固定引导件(12)和可移动引导件(13)沿Y方向(沿衬底运输方向)排列，以引导保持在陶瓷制成的安装板(10)上的衬底的两个侧端部，并且可移动引导件(13)的两个端部由支撑构件支撑。在该构造中，这些支撑构件安装到沿Y方向布置的固定构件(15A和15B)上，安装板(10)设置在所述固定构件(15A和15B)之间，从而Y方向上的间距可调整。因此，陶瓷制成的引导构件(13)可以安装和拆卸，而不需要直接对其进行螺栓连接，并且可以通过将具有不同宽度尺寸的多产品薄类型衬底用作目标来防止产生不正常放电。