公开(公告)号：CN1705094A

公开(公告)日：2005-12-07

申请号：CN200510074082.5

申请日：2005-05-31

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 深江崇行 ,  上田阳一郎 ,  鸟越哲史郎

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/60 ,  H01L21/28

CPC classification number: G06T7/0006 ,  G06T2207/30148 ,  H01L24/11 ,  H01L2224/0554 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/1134 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/0555 ,  H01L2224/0556

Abstract: 向IC零件的突起形成面照射单一方向的光，取得上述IC零件的第1全部图像，照射来自相对突起形成面倾斜的各个方向的光，取得第2全部图像，从上述第1全部图像中分别取得第1突起检查用图像，同时，从上述第2全部图像中分别取得第2突起检查用图像，并根据第2突起检查用图像，检查突起形成位置，同时，根据上述各个第1突起检查用图像，检查突起头顶部的压坏程度。由此，实现高精度且有效的突起的检查。

公开(公告)号：CN100377329C

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：CN200510074082.5

申请日：2005-05-31

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 深江崇行 ,  上田阳一郎 ,  鸟越哲史郎

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/60 ,  H01L21/28

CPC classification number: G06T7/0006 ,  G06T2207/30148 ,  H01L24/11 ,  H01L2224/0554 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/1134 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/0555 ,  H01L2224/0556

Abstract: 向IC零件的突起形成面照射单一方向的光，取得上述IC零件的第1全部图像，照射来自相对突起形成面倾斜的各个方向的光，取得第2全部图像，从上述第1全部图像中分别取得第1突起检查用图像，同时，从上述第2全部图像中分别取得第2突起检查用图像，并根据第2突起检查用图像，检查突起形成位置，同时，根据上述各个第1突起检查用图像，检查突起头顶部的压坏程度。由此，实现高精度且有效的突起的检查。