固体摄象器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1146078A

    公开(公告)日:1997-03-26

    申请号:CN96110466.X

    申请日:1996-05-29

    IPC分类号: H01L31/14 H01L31/18

    CPC分类号: H01L27/14812 H01L27/14825

    摘要: 本发明提供一种具备即使将象素部微细化,也不会导致垂直CCD部的转移电荷量降低的器件构造的固体摄象器件及其制造方法。在N(100)硅衬底1上形成第1p型阱2和第2p型阱3、在第2p型阱3内形成垂直CCDn+层4后,在包括垂直CCDn+层4的上层部的N(100)硅衬底1的表面层用杂质原子(p、As)离子注入形成p-层5,在垂直CCDn+层4的邻接部同时形成进行光电二极管部(8、9)与垂直CCDn+层4隔离的隔离部(5a)以及控制从垂直CCDn+层4的电荷读出的读出控制部5b。

    固态摄像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1124431A

    公开(公告)日:1996-06-12

    申请号:CN95115053.7

    申请日:1995-08-08

    IPC分类号: H04N1/00

    CPC分类号: H01L27/14887

    摘要: 本发明提供一种在电视摄像机等中所使用的固态摄像装置及其制造方法。在传送部25的下方通过P型掺杂层24而形成用于排出电荷的n型埋入泄漏部30。由用于控制阈值电压(Vt)的P型读出控制部26分隔受光部22和传送部25之间的读出侧;由沟道截断环27来分隔非读出侧。在受光部22和传送部25上形成绝缘膜28,通过导电型电极29从传送部25读出受光部22的电荷。为了防止暗电流,在受光部22和绝缘膜28的界面上形成P型埋入扩散层23。