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公开(公告)号：CN102067433A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123728.0
申请日：2009-06-25
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B2201/042 , B81C2201/112 , B81C2203/0118 , B81C2203/031 , G02B26/0841 , H02N1/006 , Y10T403/32557
摘要： 本发明提供一种半导体机械结构体，即使从外部施加冲击，合叶也不会破损，提高了耐冲击性。光扫描反射镜1具备：可动板2、分别将一端部与可动板2的两个侧部连接而构成可动板2的1个摆动轴的一对合叶3、以包围可动板2的周围的方式配置并支承各合叶3的另一端部的固定框架4、形成于固定框架4中的挡块部6。当可动板2向侧方发生位移时，挡块部6即与可动板2的凹部2e的侧缘部接触，限制可动板2向侧方的位移。这样，即使从外部施加冲击，也可以防止合叶3的破损。
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公开(公告)号：CN102067009A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123170.6
申请日：2009-06-24
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , H04N1/1017 , H04N1/193
摘要： 在活动结构中，通过提高铰接单元的抗张刚度或抗弯刚度，同时抑制铰接单元的扭转刚度，提高活动板的摆动动作的稳定性。用一对支架3a和跨接在所述一对支架3a之间的过梁3b形成具有蜂窝状部分3c的梯状物形状的铰接单元3，以便可转动地支持活动板2。在用铰接单元3的蜂窝状部分3c抑制铰接单元3的扭转刚度的同时，提高抗张刚度或抗弯刚度。
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公开(公告)号：CN100532248C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200480027286.7
申请日：2004-09-21
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： G02B26/0816 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00484 , B81C2201/0109 , B81C2201/019 , G02B6/3516 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H02N1/008
摘要： 一种用于制造包括固定地支撑在底座上的固定元件和可动地支撑在所述底座上的可动元件的微机电系统(MEMS)的方法。所述方法采用与下衬底分离的上衬底。所述上衬底在其顶层被选择性蚀刻以在其中形成多个柱，所述柱从所述上衬底的底层一起突出。所述柱包括将被固定到所述下衬底的所述固定元件和仅弹性地支撑于一个或多个所述固定元件以相对于所述固定元件可移动的所述可动元件。所述下衬底在其顶表面形成有至少一个凹陷。然后所述上衬底颠倒结合到所述下衬底的顶部，使得把所述固定元件直接设置在所述下衬底上，并把所述可动元件设置在所述凹陷上方。最后，除去所述上衬底的底层，以从所述底层释放所述可动元件，从而把所述可动元件浮置在所述凹陷上，并允许它们相对于所述下衬底移动，同时保持所述固定元件固定到所述下衬底的顶部。
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公开(公告)号：CN1842885B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200480024593.X
申请日：2004-08-25
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： G02B6/358 , G02B6/3512 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , G02B26/02 , H01H59/0009 , H01H2001/0047
摘要： 一种静电驱动可锁止致动器系统具有致动器和一对在致动器相对端的侧受动器。致动器弹性地支撑到衬底并当电吸引到侧受动器之一时可沿着两个操作位之间的线性轴移动。提供锁止机构以机械锁止致动器在任一操作位位置上。侧受动器可沿着正常位置和接近致动器的移动位置之间的线性轴朝向或远离致动器移动。两个侧受动器也弹性地支撑到衬底以通过静电吸引到那里移向致动器并通过回弹力远离致动器。相应于侧受动器之一被吸引到致动器，移动的侧受动器通过机械连杆联锁到锁止机构以致解开致动器，并允许致动器从一种操作位向另一种操作位移动以再次锁止在那里。
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公开(公告)号：CN101802758A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200880102805.X
申请日：2008-08-08
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： G09G3/02 , G02B5/189 , G06F3/0425 , G09G2320/02 , G09G2340/0407 , G09G2340/0464
摘要： 提供图像显示装置。图像显示装置(1)具有：LD(2)，调制并出射可见光；光扫描器件(4)，利用来自LD的光，与LD同步地在平面(P1)上进行二维扫描；拍摄部(5)，用于拍摄显示在平面(P1)上的图像(G1)；图像处理部(6)，基于拍摄部拍摄到的图像随时间的变化，判断是否存在手指等用于对图像上的任意位置进行指示的指示单元。即使在使用人的手指等作为指示单元时，也能够判断是否利用手指等进行图像指示动作。由此能够减少部件件数。另外，与出射不可见光并根据被指示单元反射的不可见光的受光定时来检测指示单元的位置的图像显示装置相比，不需采用具有高时间分辨率的复杂的检测电路等，从而能够简化结构，降低制造成本。
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公开(公告)号：CN101682274A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880017140.2
申请日：2008-05-23
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： G02B26/0841 , H02N1/006
摘要： 提供一种振动设备，其可通过简单的构成轻易地调节可移动板振动角和相位。用作振动设备的光扫描设备(10)包括：镜子元件(1)，用于振动具有镜膜(2a)的可移动板；控制电路(14)，具有占空比调节单元(17)和改变脉冲电压的占空比的功能，从而施加脉冲电压以驱动镜子元件(1)的垂直梳；以及振动检测单元(19)，用于检测可移动板的振动。基于由振动检测单元(19)检测的可移动板振动，控制电路(14)控制占空比调节单元(17)，以改变脉冲电压的占空比。当对镜子元件(1)施加具有改变的占空比的脉冲电压时，在可移动板的振动时刻改变对垂直梳施加电压的周期，从而可改变移动板的振动的相位和振动角。通过根据可移动板的振动对占空比的反馈控制，可控制可移动板以在适当的相位和适当的振动角振动。
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公开(公告)号：CN101611337A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200880003224.0
申请日：2008-01-23
申请人： 松下电工株式会社
摘要： 易于制造出在移动单元中具有绝缘结构的半导体结构。通过处理由第一硅层100a、氧化物膜120以及第二硅层100b所组成的SOI衬底，从而形成光扫描镜(半导体结构)1。移动单元50，其通过第一铰链5支撑于固定框架4上，形成在第一硅层100a上。通过形成沟槽(绝缘结构)101a将所述移动单元50划分成多个区域。由氧化物膜120和第二硅层100b形成的支撑部件9刚好形成在所述沟槽101a之下。由所述沟槽101a划分的可移动框架3的多个区域接合到所述支撑部件9，从而使得移动单元50与支撑部件9一起是可摆动的。从而，通过简单的蚀刻步骤形成支撑部件9，如此，确保移动单元50的机械强度。
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公开(公告)号：CN1856440A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027286.7
申请日：2004-09-21
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： G02B26/0816 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00484 , B81C2201/0109 , B81C2201/019 , G02B6/3516 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H02N1/008
摘要： 一种用于制造包括固定地支撑在底座上的固定元件和可动地支撑在所述底座上的可动元件的微机电系统(MEMS)的方法。所述方法采用与下衬底分离的上衬底。所述上衬底在其顶层被选择性蚀刻以在其中形成多个柱，所述柱从所述上衬底的底层一起突出。所述柱包括将被固定到所述下衬底的所述固定元件和仅弹性地支撑于一个或多个所述固定元件以相对于所述固定元件可移动的所述可动元件。所述下衬底在其顶表面形成有至少一个凹陷。然后所述上衬底颠倒结合到所述下衬底的顶部，使得把所述固定元件直接设置在所述下衬底上，并把所述可动元件设置在所述凹陷上方。最后，除去所述上衬底的底层，以从所述底层释放所述可动元件，从而把所述可动元件浮置在所述凹陷上，并允许它们相对于所述下衬底移动，同时保持所述固定元件固定到所述下衬底的顶部。
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公开(公告)号：CN1842885A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200480024593.X
申请日：2004-08-25
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： G02B6/358 , G02B6/3512 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , G02B26/02 , H01H59/0009 , H01H2001/0047
摘要： 一种静电驱动可锁止致动器系统具有致动器和一对在致动器相对端的侧受动器。致动器弹性地支撑到衬底并当电吸引到侧受动器之一时可沿着两个操作位之间的线性轴移动。提供锁止机构以机械锁止致动器在任一操作位位置上。侧受动器可沿着正常位置和接近致动器的移动位置之间的线性轴朝向或远离致动器移动。两个侧受动器也弹性地支撑到衬底以通过静电吸引到那里移向致动器并通过回弹力远离致动器。相应于侧受动器之一被吸引到致动器，移动的侧受动器通过机械连杆联锁到锁止机构以致解开致动器，并允许致动器从一种操作位向另一种操作位移动以再次锁止在那里。
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