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公开(公告)号：CN111316512B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201780096556.7
申请日：2017-12-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的准分子激光装置具有：标准具分光器，其计测激光的条纹波形；以及控制器，其求出根据标准具分光器的计测结果得到的谱空间中的第1比例的面积，根据所求出的第1比例的面积计算激光的第1谱线宽度，并且，根据相关函数对第1谱线宽度进行校正，该相关函数表示由基准计测器计测出的激光的第2谱线宽度与第1谱线宽度的相关。
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公开(公告)号：CN112204831B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN201880093960.3
申请日：2018-07-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的一个观点的能量计测装置使主光的一部分在第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器依次反射而输入到能量传感器。配置第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器，以成为抑制由于主光的入射角变化和偏振纯度变化而引起的能量传感器的检测值的变化的入射角、光路的折曲方向。
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公开(公告)号：CN115038944A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202080095271.3
申请日：2020-03-27
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 守屋正人
Abstract: 本公开的一个观点的传感器劣化判定方法包含判定步骤，在判定步骤中，判定粗略用传感器和精细用传感器中的至少一方的劣化，粗略用传感器接收由粗略用分光器产生的干涉条纹，精细用传感器接收由精细用分光器产生的干涉条纹，在判定步骤中，使波长分别不同的多个激光依次入射到粗略用分光器和精细用分光器，根据接收的多个干涉条纹取得每个波长的粗略计测波长和每个波长的精细计测波长，根据每个波长的粗略计测波长和每个波长的精细计测波长取得每个波长的劣化参数，对每个波长的劣化参数和阈值进行比较。
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公开(公告)号：CN107112712A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580053741.9
申请日：2015-11-20
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/13
CPC classification number: H01S3/13 , G01J1/0425 , G01J1/0474 , G01J3/28 , G01J9/0246 , G01J2009/0257 , G02B27/48 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/0811 , H01S3/0823 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/137 , H01S3/2251 , H01S3/2256
Abstract: 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；一对放电电极，它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置；电源，其对一对放电电极施加脉冲状的电压；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112204831A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201880093960.3
申请日：2018-07-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的一个观点的能量计测装置使主光的一部分在第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器依次反射而输入到能量传感器。配置第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器，以成为抑制由于主光的入射角变化和偏振纯度变化而引起的能量传感器的检测值的变化的入射角、光路的折曲方向。
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公开(公告)号：CN111316512A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201780096556.7
申请日：2017-12-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的准分子激光装置具有：标准具分光器，其计测激光的条纹波形；以及控制器，其求出根据标准具分光器的计测结果得到的谱空间中的第1比例的面积，根据所求出的第1比例的面积计算激光的第1谱线宽度，并且，根据相关函数对第1谱线宽度进行校正，该相关函数表示由基准计测器计测出的激光的第2谱线宽度与第1谱线宽度的相关。
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公开(公告)号：CN107112712B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201580053741.9
申请日：2015-11-20
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/13
CPC classification number: H01S3/13 , G01J1/0425 , G01J1/0474 , G01J3/28 , G01J9/0246 , G01J2009/0257 , G02B27/48 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/0811 , H01S3/0823 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/137 , H01S3/2251 , H01S3/2256
Abstract: 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；一对放电电极，它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置；电源，其对一对放电电极施加脉冲状的电压；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。
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公开(公告)号：CN117098978A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202180096755.4
申请日：2021-05-11
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: G01M11/00
Abstract: 线传感器的劣化评价方法包含以下步骤：使用线传感器检测脉冲激光的干涉条纹；基于从线传感器的至少一部分的传感器通道范围中包含的多个传感器通道分别得到的信号值，按照每个传感器通道或每个传感器通道的群组计算成为劣化的指标的评价值，将评价值存储于存储装置中，所述信号值是根据干涉条纹的光强度得到的；以及根据评价值判定线传感器的劣化状况。
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公开(公告)号：CN116670592A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180088719.3
申请日：2021-02-11
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 能够与曝光装置连接的激光系统具有：分光器，其根据从激光系统输出的激光的干涉图案取得计测波形；以及处理器，其构成为使用第1中间函数和计测波形计算卷积谱波形，该第1中间函数是经过利用分光器的装置函数对曝光装置的空间像函数进行逆卷积积分的处理而得到的。
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