流体可变式流量控制装置

    公开(公告)号:CN1225680C

    公开(公告)日:2005-11-02

    申请号:CN99801416.8

    申请日:1999-08-09

    IPC分类号: G05D7/06 F16K31/12

    摘要: 一种流体可变式流量控制装置,通过一台流量控制装置可自由地改变最大刻度流量,且能以高精度控制多种流体的流量。具体地,在将节流孔上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上、进行流体的流量控制的流量控制装置FCS中,包括:为了依据流体的种类或流量范围而设定适当的节流孔直径而设置成可自由更换的节流孔8;设置在其上游侧的控制阀2;设置在控制阀2与节流孔8之间的压力检测器6;从该压力检测器6的上游侧检测压力P1以流量为Qc=kP1(k为常数)进行演算的流量演算回路14;将流量设定信号Qe输出的流量设定回路16;为了切换最大刻度流量,将演算流量信号Qc乘以流量变换率k,变换成切换演算流量信号Qf(Qf=kQc)的流量变换回路18;以该Qf与Qe之差作为控制信号Qy并输出给控制阀2的驱动部4的演算控制回路20,开闭控制阀2,使Qy为零。

    流体可变式流量控制装置

    公开(公告)号:CN1275217A

    公开(公告)日:2000-11-29

    申请号:CN99801416.8

    申请日:1999-08-09

    IPC分类号: G05D7/06

    摘要: 一种流体可变式流量控制装置,通过一台流量控制装置可自由地改变最大刻度流量,且能以高精度控制多种流体的流量。具体地,在将节流孔上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上、进行流体的流量控制的流量控制装置FCS中,包括:为了依据流体的种类或流量范围而设定适当的节流孔直径而设置成可自由更换的节流孔8;设置在其上游侧的控制阀2;设置在控制阀2与节流孔8之间的压力检测器6;从该压力检测器6的上游侧检测压力P1以流量为Qc=KP1(K为常数)进行演算的流量演算回路14;将流量设定信号Qe输出的流量设定回路16;为了切换最大刻度流量,将演算流量信号Qc乘以流量变换率k,变换成切换演算流量信号Qf(Qf=kQc)的流量变换回路18;以该Qf与Qe之差作为控制信号Qy并输出给控制阀2的驱动部4的演算控制回路20,开闭控制阀2,使Qy为零。

    压力检测器的安装结构
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1145790C

    公开(公告)日:2004-04-14

    申请号:CN00801614.3

    申请日:2000-08-03

    IPC分类号: G01L19/00 G01L19/06 G01L9/04

    摘要: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构,把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时,可防止压力检测器的应力引起隔膜变形,避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此,本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内,通过从上方向插装孔插入的推压部件,以气密状推压并固定该压力检测器,其中,推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触,密封片与隔膜基座的本体部下面接触,同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽,推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。

    压力检测器的安装结构
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1319181A

    公开(公告)日:2001-10-24

    申请号:CN00801614.3

    申请日:2000-08-03

    IPC分类号: G01L19/00 G01L7/08

    摘要: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构,把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时,可防止压力检测器的应力引起隔膜变形,避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此,本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内,通过从上方向插装孔插入的推压部件,以气密状推压并固定该压力检测器,其中,推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触,密封片与隔膜基座的本体部下面接触,同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽,推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。