压力检测器的安装结构
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1319181A

    公开(公告)日:2001-10-24

    申请号:CN00801614.3

    申请日:2000-08-03

    Abstract: 本发明提供提供一种压力检测器的安装结构,把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时,可防止压力检测器的应力引起隔膜变形,避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此,本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内,通过从上方向插装孔插入的推压部件,以气密状推压并固定该压力检测器,其中,推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触,密封片与隔膜基座的本体部下面接触,同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽,推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。

    载置台构造和处理装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102714172A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201180005811.5

    申请日:2011-02-08

    CPC classification number: H01L21/68785 H01L21/68792

    Abstract: 本发明提供一种载置台构造,其设置于能够进行排气的处理容器内,用于载置要处理的被处理体,该载置台构造的特征在于,具备:载置台,其用于载置所述被处理体,至少设置有加热单元,由电介质形成;和支柱,其为了支承所述载置台而从所述处理容器的底部侧竖起地设置,并且上端部与所述载置台的下表面连结,在内部具有沿着长度方向形成的多个贯通孔,且由电介质形成。

    载置台构造和处理装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102668060A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080055569.8

    申请日:2010-12-20

    Abstract: 本发明涉及设置于能够进行排气的处理容器内并用于载置应处理的被处理体的载置台构造。本发明的载置台构造包括:载置台,在板状的载置台主体上支承用于载置所述被处理体的热扩散板,并且在所述载置台主体与所述热扩散板的交界部分设置气体扩散室;设置于所述载置台的加热单元;一个或者多个支柱管,用于支承所述载置台,从所述处理容器的底部立起设置,其上端部与所述载置台的下表面连接,并且与所述气体扩散室连通,流过吹扫气体;载置台罩部件,其以覆盖所述载置台主体的侧面和下表面的方式设置;和支柱管罩部件,其包围所述支柱管的周围,并且上端部与所述载置台罩部件连结,从所述气体扩散室向下方引导流过所述载置台主体与所述载置台罩部件之间的间隙的所述吹扫气体,使所述吹扫气体从气体出口排出。

    喷淋头、基板处理装置和基板处理方法

    公开(公告)号:CN119061379A

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202410631091.2

    申请日:2024-05-21

    Inventor: 长冈秀树

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制自由基化了的气体的失活的技术。喷淋头具备结构体、第一扩散室、第二扩散室以及多个筒部。此外,喷淋头具备设置于结构体的排出面上并与第一扩散室连通而排出第一气体的多个第一排出口、以及设置于排出面上与第一排出口不同的位置并与多个筒部的连通孔部连通而排出第二气体的多个第二排出口。此外,喷淋头包括:中央供给室,其在结构体的与厚度方向正交的方向的中央部,与第一扩散室和第二扩散室分开设置,使自由基化了的第三气体流通;和一个以上的第三排出口,其设置在排出面的中央部,与中央供给室连通而排出第三气体。

    气体供给单元和气体供给系统

    公开(公告)号:CN101438091B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200680054549.2

    申请日:2006-06-02

    CPC classification number: F17D1/04 Y10T137/87177 Y10T137/87885

    Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上,并且具有通过流路模块(12—17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2—6,9)。气体供给单元具有第一流路模块(14),包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧,且气体供给单元还具有第二流路模块(17),包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间,其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上,单元(11A)安装在所述安装表面内。

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