公开(公告)号：CN109003917A

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201810725930.1

申请日：2010-10-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 河江国博 ,  柳川卓也

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67721 ,  B65G49/061 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785

Abstract: 提供一种可解决在基板交接时产生的基板的弯曲的基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置、及元件制造方法。一种基板搬送装置(7)，是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V)；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。

公开(公告)号：CN104221137B

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201080049093.7

申请日：2010-10-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 河江国博 ,  柳川卓也

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67721 ,  B65G49/061 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785

Abstract: 种基板搬送装置(7),是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件起搬送,其特征在于具备:使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V);保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。

公开(公告)号：CN103534788A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201280023751.4

申请日：2012-05-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  柳川卓也

IPC: H01L21/027 ,  B65G49/06 ,  G03F7/20 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67736 ,  B65G49/061 ,  B65G49/063 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/04 ,  G03F7/70733

Abstract: 于本发明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盘(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)内，设有按压基板托盘(40a)使基板(P)与基板托盘(40a)一起移动的基板搬出装置(70a)。因此，能在对基板(P)的曝光处理结束后，为更换基板(P)而使基板载台(20a)位于基板更换位置之前，开始基板(P)的搬出动作。

公开(公告)号：CN102696099A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201080053764.7

申请日：2010-11-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  关忠 ,  柳川卓也

IPC: H01L21/677 ,  G03F7/20 ,  B65G49/06

CPC classification number: G03F7/70733 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67748

Abstract: 本发明基板搬出装置(70)藉由使基板载台(20)上装载的已完成曝光的基板(P)在装载于被收容在基板保持具(50)内的基板托盘(90)上的状态下，移动于与水平面平行的单轴方向(X轴方向)据以从基板保持具(50)搬出。相对于此，基板搬入装置(80)则系在将待搬入基板载台(20)的未曝光基板(P)装载于另一基板托盘(90)上的状态下使其在基板更换位置待机，待完成曝光的基板(P)从基板载台(20)搬出后，使该另一基板托盘(90)降下据以将未曝光的基板(P)装载于基板保持具(50)上。

公开(公告)号：CN106873313A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201611001027.8

申请日：2012-05-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  柳川卓也

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06

Abstract: 于本发明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盘(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)内，设有按压基板托盘(40a)使基板(P)与基板托盘(40a)一起移动的基板搬出装置(70a)。因此，能在对基板(P)的曝光处理结束后，为更换基板(P)而使基板载台(20a)位于基板更换位置之前，开始基板(P)的搬出动作。

公开(公告)号：CN104221137A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201080049093.7

申请日：2010-10-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 河江国博 ,  柳川卓也

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67721 ,  B65G49/061 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785

Abstract: 一种基板搬送装置(7)，是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V)；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。