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公开(公告)号:CN103081127B
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201180042753.3
申请日:2011-02-09
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 独立行政法人国立高等专门学校机构
IPC: H01L31/09 , G01T1/24 , H01L27/14 , H01L27/146
CPC classification number: H01L21/02573 , H01L21/02562 , H01L21/0262 , H01L27/14659 , H01L27/14692 , H01L27/14696 , H01L31/02966 , H01L31/115 , H01L31/1832 , Y02E10/50
Abstract: 即使在通过蒸镀或升华来形成由多晶膜或多晶的层叠膜构成的检测层的第一过程的中途不能再供给Cl(氯),也会在第一过程的开始或过程的中途供给与源S不同的附加源(例如HCl等含有Cl的气体)。可以从成膜初期直至结束时为止,对为CdTe(碲化镉)、ZnTe(碲化锌)或CdZnTe(碲锌镉)的多晶或多晶的层叠膜的检测层在厚度方向上均匀地掺杂Cl。其结果,可以使晶粒均匀化并且使检测特性均匀化。
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公开(公告)号:CN103081127A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201180042753.3
申请日:2011-02-09
Applicant: 株式会社岛津制作所 , 独立行政法人国立高等专门学校机构
IPC: H01L31/09 , G01T1/24 , H01L27/14 , H01L27/146
CPC classification number: H01L21/02573 , H01L21/02562 , H01L21/0262 , H01L27/14659 , H01L27/14692 , H01L27/14696 , H01L31/02966 , H01L31/115 , H01L31/1832 , Y02E10/50
Abstract: 即使在通过蒸镀或升华来形成由多晶膜或多晶的层叠膜构成的检测层的第一过程的中途不能再供给Cl(氯),也会在第一过程的开始或过程的中途供给与源S不同的附加源(例如HCl等含有Cl的气体)。可以从成膜初期直至结束时为止,对为CdTe(碲化镉)、ZnTe(碲化锌)或CdZnTe(碲锌镉)的多晶或多晶的层叠膜的检测层在厚度方向上均匀地掺杂Cl。其结果,可以使晶粒均匀化并且使检测特性均匀化。
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公开(公告)号:CN102590844A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201110400089.7
申请日:2011-12-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01T1/00 , H01L27/146
Abstract: 本发明提供一种放射线检测器以及放射线摄影装置。驱动控制部根据有无像素合并、即在由栅极驱动电路每次多列地驱动开关元件的进行像素合并的情况和由栅极驱动电路每次一列地驱动开关元件的无像素合并的情况中,使由偏置电源对转换层施加的偏置电压改变。因此,在以像素合并的方式进行摄影的透视模式时,能够抑制动态范围的下降。另外,在无像素合并地进行摄影的摄影模式时,能够提高空间分辨率。即,能够与动作模式相应地使高的动态范围和空间分辨率最优化。
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公开(公告)号:CN101874741B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN201010168864.6
申请日:2010-04-27
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: A61B6/00
CPC classification number: A61B6/06 , A61B6/032 , A61B6/4233 , A61B6/4291 , A61B6/4441 , A61B6/5252 , A61B6/583 , G21K1/025 , G21K2207/00
Abstract: 本发明提供一种放射线摄影装置,其特征在于,具备:将放射线进行照射的放射线源、使检测元件二维排列地构成的放射线检测部、具有去除散射线的吸收箔的放射线格栅、根据放射线检测部的输出而求出规定的物理量的物理量取得部、对规定的物理量进行映射而生成物理量图的物理量图生成部、对物理量图中沿吸收箔的延伸方向排列的物理量排列进行平滑滤波而生成平均值图的物理量图平滑化部。
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公开(公告)号:CN103443653A
公开(公告)日:2013-12-11
申请号:CN201280014189.9
申请日:2012-03-19
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01T1/24 , H01L27/14 , H01L27/146 , H01L31/09
Abstract: 在腔室(31)内收纳石墨基板(11)并通过泵(P)进行真空抽吸。接着,通过在真空中加热炭使炭中的杂质蒸发从而将炭进行纯化。通过将石墨基板(11)的炭进行纯化,能够将石墨基板(11)的炭所含有的半导体层的施主/受主元素、以及金属元素的杂质抑制到0.1ppm以下。其结果,能够抑制漏电流、异常漏点的产生、抑制半导体层中的晶体的异常生长。
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公开(公告)号:CN102859691A
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN201180017676.6
申请日:2011-02-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01L27/14 , G01T1/24 , H01L27/146
CPC classification number: H01L31/0236 , H01L27/14636 , Y02E10/50
Abstract: 通过将石墨基板(11)的表面的凹凸设为1μm~8μm的范围,能够使层叠形成在石墨基板(11)上的半导体层(13)的膜质稳定,提高石墨基板(11)与半导体层(13)的密合性。即使在电子阻挡层(12)介于石墨基板(11)与半导体层(13)之间的情况下,由于电子阻挡层(12)薄,石墨基板(11)的表面的凹凸被转印到电子阻挡层(12),因此电子阻挡层(12)的表面的凹凸也大致成为该范围,起到与将半导体层(13)直接接触石墨基板(11)而形成的结构大致相同的效果。
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公开(公告)号:CN101405597B
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN200680053975.4
申请日:2006-12-04
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 桑原章二
IPC: G01N23/06
CPC classification number: G01N23/087
Abstract: 用能辨别能量的二维X射线检测器(14)检测透过被测定物13的X射线,求出给定能量的实际测定X射线强度。被测定物(13)以与X射线正交的轴为中心按给定角度旋转扫描。把被测定物(13)视为排列多个微小立方体即三维单位区域的结构,认为透过多个三维单位区域而来的X射线入射到一个微小X射线检测元件(14a)。在数据处理部(6),建立重量比未知的元素数和密度的合计数以上个由实际测定透过X射线强度和直接X射线强度的比、与根据各三维单位区域中的元素的质量吸收系数、未知的重量比和密度所求出的理论上的X射线强度比构成的方程式,作为联立方程式,并且求解它,从而求出每个三维单位区域的元素的重量比和密度。从而,能测定由多种已知的元素和/或化合物构成的被测定物中的各元素和/或化合物的重量比和密度的三维分布。
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公开(公告)号:CN102859691B
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201180017676.6
申请日:2011-02-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01L27/14 , G01T1/24 , H01L27/146
CPC classification number: H01L31/0236 , H01L27/14636 , Y02E10/50
Abstract: 通过将石墨基板(11)的表面的凹凸设为1μm~8μm的范围,能够使层叠形成在石墨基板(11)上的半导体层(13)的膜质稳定,提高石墨基板(11)与半导体层(13)的密合性。即使在电子阻挡层(12)介于石墨基板(11)与半导体层(13)之间的情况下,由于电子阻挡层(12)薄,石墨基板(11)的表面的凹凸被转印到电子阻挡层(12),因此电子阻挡层(12)的表面的凹凸也大致成为该范围,起到与将半导体层(13)直接接触石墨基板(11)而形成的结构大致相同的效果。
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公开(公告)号:CN101405597A
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN200680053975.4
申请日:2006-12-04
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 桑原章二
IPC: G01N23/06
CPC classification number: G01N23/087
Abstract: 用能辨别能量的二维X射线检测器(14)检测透过被测定物13的X射线,求出给定能量的实际测定X射线强度。被测定物(13)以与X射线正交的轴为中心按给定角度旋转扫描。把被测定物(13)视为排列多个微小立方体即三维单位区域的结构,认为透过多个三维单位区域而来的X射线入射到一个微小X射线检测元件(14a)。在数据处理部(6),建立重量比未知的元素数和密度的合计数以上个由实际测定透过X射线强度和直接X射线强度的比、与根据各三维单位区域中的元素的质量吸收系数、未知的重量比和密度所求出的理论上的X射线强度比构成的方程式,作为联立方程式,并且求解它,从而求出每个三维单位区域的元素的重量比和密度。从而,能测定由多种已知的元素和/或化合物构成的被测定物中的各元素和/或化合物的重量比和密度的三维分布。
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公开(公告)号:CN1178321A
公开(公告)日:1998-04-08
申请号:CN97112468.X
申请日:1997-06-12
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 桑原章二
IPC: G01N21/63
Abstract: 一种定性分析是通过以下方法进行:首先存入在不同化合物形态中的各种元素的参比光谱谱线数据,激发样品和光谱分析的信号光从样品中发射出来而得到要测定的光谱谱线数据,然后测定看是否这些已测定的光谱谱线数据包括各种特定化合物形成元素的谱线;并且将参比谱线数据与所测得的谱线数据作比较,如果发现所测得的谱线数据包括有任何一种化合物形成元素的谱线,这样便鉴定出了样品中的各元素。
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