一种碲锌镉基碲镉汞红外焦平面器件复合结构及制备方法

    公开(公告)号:CN107665865A

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:CN201710760261.7

    申请日:2017-08-30

    发明人: 廖清君 胡晓宁

    摘要: 本发明公开了一种碲锌镉基碲镉汞红外焦平面器件复合结构及制备方法。本发明中的复合结构包括碲锌镉衬底、碲镉汞红外光敏芯片、硅读出电路、宝石电极基板、和宝石形变平衡层。本发明采用常规制备方法获得碲锌镉基碲镉汞焦平面模块,然后在模块的硅读出电路背面涂敷一层聚氨酯改性环氧树脂,贴上一层宝石形变平衡层,其中宝石形变平衡层厚度与宝石电极基板一致,尺寸与硅读出电路尺寸一致;然后在宝石形变平衡层上施加4~5牛顿的力,在22~28℃下固化168~192小时。采用本发明中的方法制备的复合结构有效降低间接倒焊互连碲锌镉基碲镉汞红外焦平面器件在低温下工作的热失配应力,减小由于热失配造成的碲镉汞芯片变形,提高器件的低温可靠性。

    用于产生掺杂有钠的五元化合物半导体CZTSSE的方法

    公开(公告)号:CN104247036A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201380022112.0

    申请日:2013-04-25

    摘要: 本发明关于一种用于产生分层堆叠以用于制造具有Cu2ZnSn(S,Se)4类型的化合物半导体的薄膜太阳能电池的方法,包括以下步骤:提供衬底;在所述衬底上沉积阻挡层,所述阻挡层包括被适配成阻止碱金属的扩散的材料;在所述阻挡层上沉积电极层;沉积包括金属铜、锌和锡的第一前体层;在所述第一前体层上沉积包括从硫和硒中选择的至少一个硫属元素的第二前体层;使所述前体层退火以结晶化所述化合物半导体;在所述第一和第二前体层的退火期间供应至少一种工艺气体,其中(i)在硫或者硒被包含在所述第二前体层中的情况下,另一硫属元素和/或包含另一硫属元素的化合物被包含在所述工艺气体中,或者(ii)在硫和硒被包含在所述第二前体层中的情况下,硫和/或硒和/或包含硫的化合物和/或包含硒的化合物被包含在所述工艺气体中;(i)在所述前体层的所述退火之前在所述前体层和/或所述电极层上,(ii)在所述前体层的所述退火期间在所述前体层上,和/或(iii)在所述前体层的退火之后在所述化合物半导体上沉积元素钠和/或含钠化合物,其中所述化合物半导体以这样的方式产生以使得获得在所述化合物半导体的第一边界面和第二边界面之间的明确的钠和硫深度分布。

    条形阵列碲锌镉探测器的制备方法

    公开(公告)号:CN103560167A

    公开(公告)日:2014-02-05

    申请号:CN201310489066.7

    申请日:2013-10-17

    IPC分类号: H01L31/18 G01T1/24

    摘要: 本发明公开了一种条形阵列碲锌镉探测器的制备方法,用于解决现有方法制备条形阵列碲锌镉探测器时光刻图像边缘缺损的技术问题。技术方案是在长宽比较小的大尺寸碲锌镉单晶片上一次光刻出多个条形阵列图案,然后通过光刻胶保护条形阵列电极并采用划片机沿着光刻图案的外围轮廓划开,形成独立的条形阵列碲锌镉探测器。克服了晶片抛光时由于长宽比较大导致的塌边和光刻电极图案不完整等现象,同时解决了像素电极的倒装连接时由于晶片厚度不均匀导致的短路问题。由于采用光刻胶保护条形阵列电极进行划片切割,实现了对光刻电极的保护,避免了切割导致的晶片边缘崩裂。且一次能制备4~8个1×8~1×32的像素阵列条形探测器,降低了制备成本。