公开(公告)号：CN106663654B

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201580026288.2

申请日：2015-09-18

申请人： 株式会社才源

发明人： 申晶旭

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68

CPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

摘要： 本记载的定位装置包括：底板；第一移动板，能够以向第一轴移动的方式配置在上述底板；第二移动板，以与上述第一轴正交并能够向第二轴方向移动的方式配置在上述第一移动板，上述第二轴方向与上述第一移动板平行；旋转板，能够以与第一轴及上述第二轴同时正交的旋转轴为中心旋转地配置在上述第二移动板；第一驱动单元，包括固定在上述底板的第一驱动单元本体以及对于上述第一驱动单元本体能够向上述第一轴移动并上述第一移动板相连接的第一移动支架；第二驱动单元，包括固定在上述第一移动板的第二驱动单元本体以及对于上述第二驱动单元本体能够向上述第二轴方向移动并与上述第二移动板相连接的第二移动支架；以及第三驱动单元，包括固定在上述第二移动板的第三驱动单元本体、能够向上述第一轴或上述第二轴方向移动的第三移动支架以及一侧以能够旋转的方式与上述第三移动支架相连接且另一侧固定在上述旋转板的枢轴支架。

公开(公告)号：CN106663654A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580026288.2

申请日：2015-09-18

申请人： 株式会社才源

发明人： 申晶旭

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68

CPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68 ,  H01L21/681

摘要： 本记载的定位装置包括：底板；第一移动板，能够以向第一轴移动的方式配置在上述底板；第二移动板，以与上述第一轴正交并能够向第二轴方向移动的方式配置在上述第一移动板，上述第二轴方向与上述第一移动板平行；旋转板，能够以与第一轴及上述第二轴同时正交的旋转轴为中心旋转地配置在上述第二移动板；第一驱动单元，包括固定在上述底板的第一驱动单元本体以及对于上述第一驱动单元本体能够向上述第一轴移动并上述第一移动板相连接的第一移动支架；第二驱动单元，包括固定在上述第一移动板的第二驱动单元本体以及对于上述第二驱动单元本体能够向上述第二轴方向移动并与上述第二移动板相连接的第二移动支架；以及第三驱动单元，包括固定在上述第二移动板的第三驱动单元本体、能够向上述第一轴或上述第二轴方向移动的第三移动支架以及一侧以能够旋转的方式与上述第三移动支架相连接且另一侧固定在上述旋转板的枢轴支架。