公开(公告)号：CN113853507B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202080037306.8

申请日：2020-05-25

Applicant: 株式会社拓普康 ,  国立研究开发法人理化学研究所

Inventor： 椴山誉 ,  佐佐木芳彰 ,  吉峯功 ,  大谷知行 ,  汤浅哲也

IPC: G01B9/02055 ,  G01N21/45

Abstract: 本发明使光干涉测定中的干涉图的噪声降低。光干涉测定装置(1)具有：测定部(2)，向测定对象物及参照面照射电磁波，使来自测定对象物的反射面的反射波和来自所述参照面的反射波干涉，获取干涉波的干涉图；以及信号处理部(8)，通过对干涉图进行傅里叶变换，构成深度方向的强度特性曲线，信号处理部(8)具有第一噪声去除部(301)，通过从强度特性曲线中，将以测定对象物设置位置为基准的区域作为通过区域，将通过区域以外的区域的数据删除从而进行滤波，对滤波后的所述强度特性曲线进行傅里叶逆变换，由此重建为干涉图。

公开(公告)号：CN113892024A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202080036899.6

申请日：2020-05-25

Applicant: 株式会社拓普康 ,  国立研究开发法人理化学研究所

Inventor： 椴山誉 ,  佐佐木芳彰 ,  吉峯功 ,  大谷知行 ,  汤浅哲也

IPC: G01N21/45 ,  G01N21/01

Abstract: 提供一种光干涉测定技术，不使用宽频带的光源，改善了深度方向的强度特性曲线的分辨率。光干涉测定装置(1)具有：测定部(2)，使所照射的电磁波的、来自测定对象物的反射面的反射波和来自参照面的反射波干涉，获取干涉波的干涉图；以及信号处理部(8)，通过对干涉图进行傅里叶变换，构成深度方向的强度特性曲线，信号处理部(8)具有：模型参数推定部(201)，基于假设测定对象物是具有规定的构造的构造物的情况下的干涉图的模型式，对假定面数推定模型式的参数；最佳模型选择部(202)，根据应用了对假定面数推定出的参数的模型式，通过统计学方法选择最佳模型；以及强度特性曲线重建部(203)，基于最佳模型重建强度特性曲线。

公开(公告)号：CN113853507A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202080037306.8

申请日：2020-05-25

Applicant: 株式会社拓普康 ,  国立研究开发法人理化学研究所

Inventor： 椴山誉 ,  佐佐木芳彰 ,  吉峯功 ,  大谷知行 ,  汤浅哲也

IPC: G01B9/02 ,  G01N21/45

Abstract: 本发明使光干涉测定中的干涉图的噪声降低。光干涉测定装置(1)具有：测定部(2)，向测定对象物及参照面照射电磁波，使来自测定对象物的反射面的反射波和来自所述参照面的反射波干涉，获取干涉波的干涉图；以及信号处理部(8)，通过对干涉图进行傅里叶变换，构成深度方向的强度特性曲线，信号处理部(8)具有第一噪声去除部(301)，通过从强度特性曲线中，将以测定对象物设置位置为基准的区域作为通过区域，将通过区域以外的区域的数据删除从而进行滤波，对滤波后的所述强度特性曲线进行傅里叶逆变换，由此重建为干涉图。