金属部件的接合方法以及接合装置

    公开(公告)号:CN107283057B

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN201710223797.5

    申请日:2017-04-07

    IPC分类号: B23K26/21 B23K26/70

    摘要: 本发明涉及金属部件的接合方法以及接合装置。接合方法具备:在照射面(62a1)上形成与氧化膜形成用激光(L1)的第一输出(W1)以及照射时间对应的膜厚的氧化膜(OM)氧化膜形成工序(S10);检测第二输出(W2)的第一反射激光检测工序(S12);运算氧化膜形成用激光(L1)的第一吸收率的第一吸收率运算工序(S14);将对照射面(62a1)的氧化膜形成用激光的照射切换为上述加热接合用激光的激光切换工序(S16A、S16B);以及将第一接合面(62b)的温度加热至规定的接合温度(Ta)并使第一接合面(62b)与第二接合面(51a)接合的加热接合工序(S3)。

    金属部件的加热方法、接合方法以及金属部件的加热装置

    公开(公告)号:CN106964890B

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201610896351.4

    申请日:2016-10-14

    IPC分类号: B23K20/00 B23K26/06 B23K26/20

    摘要: 本申请涉及金属部件的加热方法、接合方法以及金属部件的加热装置。加热方法具备氧化膜形成工序以及加热工序,氧化膜的膜厚(α)设定于第一范围(Ar1),在氧化膜的膜厚与具有周期性的吸收率的关系中,第一范围包含与氧化膜(OM)的膜厚超过零而吸收率首次作为极大值出现的第一极大值(a)对应的第一极大膜厚(A)、以及与在第一极大值(a)之后吸收率再次作为极大值出现的第二极大值(b)对应的第二极大膜厚(B),且第一范围(Ar1)比第二极小膜厚(BB)小,第二极小膜厚是与在第二极大值(b)和与在第二极大值(b)之后吸收率再次作为极大值出现的第三极大值(c)之间吸收率作为极小值出现的第二极小值(bb)对应的膜厚。

    接合装置以及接合体的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110871324A

    公开(公告)日:2020-03-10

    申请号:CN201910795052.5

    申请日:2019-08-27

    IPC分类号: B23K26/21

    摘要: 本发明提供一种能够将尺寸小型化的接合装置以及使用小型的接合装置的接合体的制造方法。接合装置具有支承台和限制部件,该支承台具有载置面。对于载置面而言,基板以使半导体元件的表面电极朝上的方式载置于载置面。在该表面电极重叠有配线部件。限制部件通过在与载置面之间夹住设置有半导体元件的基板和配线部件而限制表面电极与配线部件向相互分离的方向移动。另外,接合装置也具有激光装置。激光装置通过经由限制部件的孔对配线部件的表面照射激光而对表面电极与配线部件的接合界面进行局部加热。

    金属部件的接合方法以及接合装置

    公开(公告)号:CN107283057A

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201710223797.5

    申请日:2017-04-07

    IPC分类号: B23K26/21 B23K26/70

    摘要: 本发明涉及金属部件的接合方法以及接合装置。接合方法具备:在照射面(62a1)上形成与氧化膜形成用激光(L1)的第一输出(W1)以及照射时间对应的膜厚的氧化膜(OM)氧化膜形成工序(S10);检测第二输出(W2)的第一反射激光检测工序(S12);运算氧化膜形成用激光(L1)的第一吸收率的第一吸收率运算工序(S14);将对照射面(62a1)的氧化膜形成用激光的照射切换为上述加热接合用激光的激光切换工序(S16A、S16B);以及将第一接合面(62b)的温度加热至规定的接合温度(Ta)并使第一接合面(62b)与第二接合面(51a)接合的加热接合工序(S3)。

    层叠造型装置的造型方法和层叠造型装置

    公开(公告)号:CN110238391A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201910167145.3

    申请日:2019-03-06

    IPC分类号: B22F3/105 B33Y10/00 B33Y30/00

    摘要: 本发明提供层叠造型装置的造型方法和层叠造型装置。层叠造型装置的造型方法在通过造型光束的照射使金属粉末熔融后,使其固化而对造型物进行层叠造型,具备:第一工序(S10),在基板(27)上的照射范围(Ar1)内准备在上表面具备了沿着规定的轴线凹设的凹部(43)的造型物的第一层(15A);第二工序(S20),向凹部(43)供给金属粉末;和第三工序(S30),在第二工序(S20)的处理后,相对于供给至凹部(43)的金属粉末,照射造型光束(L1)并使其熔融。

    金属部件的加热方法、接合方法以及金属部件的加热装置

    公开(公告)号:CN106964890A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201610896351.4

    申请日:2016-10-14

    IPC分类号: B23K20/00 B23K26/06 B23K26/20

    摘要: 本申请涉及金属部件的加热方法、接合方法以及金属部件的加热装置。加热方法具备氧化膜形成工序以及加热工序,氧化膜的膜厚(α)设定于第一范围(Ar1),在氧化膜的膜厚与具有周期性的吸收率的关系中,第一范围包含与氧化膜(OM)的膜厚超过零而吸收率首次作为极大值出现的第一极大值(a)对应的第一极大膜厚(A)、以及与在第一极大值(a)之后吸收率再次作为极大值出现的第二极大值(b)对应的第二极大膜厚(B),且第一范围(Ar1)比第二极小膜厚(BB)小,第二极小膜厚是与在第二极大值(b)和与在第二极大值(b)之后吸收率再次作为极大值出现的第三极大值(c)之间吸收率作为极小值出现的第二极小值(bb)对应的膜厚。