铁电电容器与半导体器件

    公开(公告)号:CN1292931A

    公开(公告)日:2001-04-25

    申请号:CN98814030.6

    申请日:1998-09-22

    CPC classification number: H01L28/55 H01L21/28291 H01L27/11502 H01L28/60

    Abstract: 这里揭示了由上电极、铁电薄膜和下电极构成的铁电电容器和具有铁电电容器的电子器件,特征在于所述铁电薄膜为钙钛矿型的含Pb氧化物,而上电极和下电极含有Pt和Pb的金属间化合物。本发明是为解决下述问题而设计的。在常规非易失性铁电存储器中,在PZT与电极的界面附近产生退化层。在电极与铁电薄膜界面处产生应力。退化层和界面应力使铁电电容器的初始极化特性变坏,并且在多次开关循环后极化特性会严重退降。

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