公开(公告)号：CN102326449A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201080006635.2

申请日：2010-02-03

Applicant: 株式会社日立工业设备技术 ,  夏普株式会社

Inventor： 国弘立人 ,  高桥一雄 ,  太田纯史

IPC: H05B33/04 ,  B29C65/78 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: B32B37/182 ,  B29C66/0342 ,  B29C66/7465 ,  B29C66/8432 ,  B29K2063/00 ,  B29K2101/10 ,  B29K2309/08 ,  B32B38/0004 ,  B32B2309/62 ,  B32B2309/68 ,  H01L51/5246 ,  H01L51/56 ,  B29C65/00

Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，能够实现节省作业的工时，谋求生产节拍时间的提高，防止了制品性能的劣化的层叠加工。本发明中，来自薄膜卷放机构部(14)的薄膜滚筒(24a～24d)(图6)的薄膜(13)在覆膜卷绕机构部(15)被剥取其覆膜(13a)(图4)，并被送向基板间处理机构部(16)。在基板间处理机构部(16)，由半切割部件(34)和剥离带(36)(图7)，如图9所示，以规定的间隔按照每个规定的长度剥取薄膜(13)的封闭材料薄膜(5’)(图4)，形成片状封闭材料(5)。被这样处理的薄膜(13)被送向层叠机构部(19)，片状封闭材料(5)被加热压接在来自前室10的基板(1)，在基板冷却机构部(30)被冷却，在基膜卷绕机构部(21)剥取薄膜(13)的基膜(13b)(图4)。

公开(公告)号：CN100504560C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200710129062.2

申请日：2007-07-11

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 三本胜 ,  渡边茂雄 ,  国弘立人

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/1333

CPC classification number: B32B38/18 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2309/68 ,  B32B2457/20 ,  G02F1/1303 ,  G02F1/1333 ,  Y10T156/17

Abstract: 提供一种能够在真空中高精度地进行基板粘结的基板粘结装置。其构成包括：搬入粘结前的2张基板的第1腔(C1)，进行基板粘结的第2腔(C2)，以及输出粘结后的基板的第3腔(C3)，将第1腔内部和第3腔内部从大气压可变控制为中真空状态，将第2腔(C2)从中真空可变控制为高真空，在第2腔内利用可上下移动地构成的静电吸附机构(25)接收上基板(30)，并可保持在上载台(9)上。

公开(公告)号：CN101114091A

公开(公告)日：2008-01-30

申请号：CN200710129062.2

申请日：2007-07-11

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 三本胜 ,  渡边茂雄 ,  国弘立人

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/1333

CPC classification number: B32B38/18 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2309/68 ,  B32B2457/20 ,  G02F1/1303 ,  G02F1/1333 ,  Y10T156/17

Abstract: 提供一种能够在真空中高精度地进行基板粘结的基板粘结装置。其构成包括：搬入粘结前的2张基板的第1腔(C1)，进行基板粘结的第2腔(C2)，以及输出粘结后的基板的第3腔(C3)，将第1腔内部和第3腔内部从大气压可变控制为中真空状态，将第2腔(C2)从中真空可变控制为高真空，在第2腔内利用可上下移动地构成的静电吸附机构(25)接收上基板(30)，并可保持在上载台(9)上。

公开(公告)号：CN102326449B

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201080006635.2

申请日：2010-02-03

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 国弘立人 ,  高桥一雄 ,  太田纯史

IPC: H01L51/50 ,  H01L51/52 ,  B29C65/78 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30

CPC classification number: B32B37/182 ,  B29C66/0342 ,  B29C66/7465 ,  B29C66/8432 ,  B29K2063/00 ,  B29K2101/10 ,  B29K2309/08 ,  B32B38/0004 ,  B32B2309/62 ,  B32B2309/68 ,  H01L51/5246 ,  H01L51/56 ,  B29C65/00

Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，能够实现节省作业的工时，谋求生产节拍时间的提高，防止了制品性能的劣化的层叠加工。本发明中，来自薄膜卷放机构部(14)的薄膜滚筒(24a～24d)的薄膜(13)在覆膜卷绕机构部(15)被剥取其覆膜(13a)，并被送向基板间处理机构部(16)。在基板间处理机构部(16)，由半切割部件(34)和剥离带(36)，以规定的间隔按照每个规定的长度剥取薄膜(13)的封闭材料薄膜(5’)，形成片状封闭材料(5)。被这样处理的薄膜(13)被送向层叠机构部(19)，片状封闭材料(5)被加热压接在来自前室10的基板(1)，在基板冷却机构部(30)被冷却，在基膜卷绕机构部(21)剥取薄膜(13)的基膜(13b)。