公开(公告)号：CN106663584B

公开(公告)日：2018-10-30

申请号：CN201580035457.9

申请日：2015-06-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  小林弘幸 ,  四辻贵文

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。

公开(公告)号：CN108885963B

公开(公告)日：2020-02-18

申请号：CN201680084244.X

申请日：2016-08-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 玉置央和 ,  田村圭司 ,  谷口佳史 ,  葛西裕人 ,  矢口纪惠 ,  四辻贵文 ,  原田研

IPC: H01J37/295 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。

公开(公告)号：CN105830193A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201480046186.2

申请日：2014-03-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大八木敏行 ,  四辻贵文

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/006

Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其利用需要施加电压的检测器，而得到放置在气体气氛中的样本的显微镜像。具备：气体导入装置，其用于向样本释放气体；气体控制装置，其在该气体导入装置的气体释放过程中，控制上述气体导入装置的气体释放量使得设置有检测器(49～51、55)的空间内的真空度持续保持为不满设定值。

公开(公告)号：CN108885963A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201680084244.X

申请日：2016-08-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 玉置央和 ,  田村圭司 ,  谷口佳史 ,  葛西裕人 ,  矢口纪惠 ,  四辻贵文 ,  原田研

IPC: H01J37/295 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。

公开(公告)号：CN105830193B

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201480046186.2

申请日：2014-03-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大八木敏行 ,  四辻贵文

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/006

Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其利用需要施加电压的检测器，而得到放置在气体气氛中的样本的显微镜像。具备：气体导入装置，其用于向样本释放气体；气体控制装置，其在该气体导入装置的气体释放过程中，控制上述气体导入装置的气体释放量使得设置有检测器(49～51、55)的空间内的真空度持续保持为不满设定值。

公开(公告)号：CN106663584A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580035457.9

申请日：2015-06-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  小林弘幸 ,  四辻贵文

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。