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公开(公告)号：CN103635987B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201280032123.2
申请日：2012-04-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , B23K15/00 , G01N1/28 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/3005 , G01N1/286 , G01N1/32 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/3056 , H01J2237/31 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明提供一种无需在带电粒子线装置中另行设置别的装置且在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工的装置以及方法。在带电粒子线装置的真空室内配置填充有离子液体的液池和超声波振动单元，并在离子液体和试料的加工对象区域接触的状态下，使超声波振动向离子液体中传播而加工试料。无需在带电粒子线装置另行设置别的装置且能够在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工，因此提高生产量并且防止空气的影响。
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公开(公告)号：CN104094375A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007984.X
申请日：2013-02-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: C23C14/221 , H01J37/3178 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735
Abstract: 本发明的目的在于提供在带电粒子线装置的真空室内不使用气相沉积法等而进行布线加工的布线方法及带电粒子线装置。为了达到上述目的，本发明提供如下的布线方法及带电粒子线装置，即，向试样上滴下离子液体或预先在载置试样的试样台上准备离子液体，向布线加工起点与布线加工终点之间的布线轨道上照射带电粒子线而形成由离子液体构成的布线。根据这样的结构，能不使用气相沉积法等而在带电粒子线装置的真空室内进行布线加工。
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公开(公告)号：CN103635987A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201280032123.2
申请日：2012-04-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , B23K15/00 , G01N1/28 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/3005 , G01N1/286 , G01N1/32 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/3056 , H01J2237/31 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明提供一种无需在带电粒子线装置中另行设置别的装置且在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工的装置以及方法。在带电粒子线装置的真空室内配置填充有离子液体的液池和超声波振动单元，并在离子液体和试料的加工对象区域接触的状态下，使超声波振动向离子液体中传播而加工试料。无需在带电粒子线装置另行设置别的装置且能够在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工，因此提高生产量并且防止空气的影响。
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公开(公告)号：CN104094375B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380007984.X
申请日：2013-02-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: C23C14/221 , H01J37/3178 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735
Abstract: 本发明的目的在于提供在带电粒子线装置的真空室内不使用气相沉积法等而进行布线加工的布线方法及带电粒子线装置。为了达到上述目的，本发明提供如下的布线方法及带电粒子线装置，即，向试样上滴下离子液体或预先在载置试样的试样台上准备离子液体，向布线加工起点与布线加工终点之间的布线轨道上照射带电粒子线而形成由离子液体构成的布线。根据这样的结构，能不使用气相沉积法等而在带电粒子线装置的真空室内进行布线加工。
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