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    用于产生电子束的方法和装置
    1.
    发明公开
    用于产生电子束的方法和装置 失效

    公开(公告)号：CN104272425A

    公开(公告)日：2015-01-07

    申请号：CN201380022774.8

    申请日：2013-04-25

    申请人： 阿卡姆股份有限公司

    发明人： M·斯文松 ,  U·勒君布拉德

    IPC分类号： H01J37/077 ,  B29C67/00

    CPC分类号： H01J29/52 ,  B29C64/153 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  H01J37/077 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/3128 ,  H01J2237/31732

    摘要： 本发明涉及一种等离子体电子源装置(150)。所述装置包含阴极放电室(100)，在阴极放电室(100)中产生等离子体；提供在所述阴极放电室中的出口孔(120)，通过提供在所述阴极放电室(100)与阳极(104)之间的加速场从出口孔(120)并从所述等离子体(107)中提取电子；至少一个等离子体约束设备(例如，电磁线圈103)；以及切换机构(190)，其用于在允许从所述等离子体中提取电子的第一值与阻止从所述等离子体中提取电子的第二值之间切换所述至少一个等离子体约束设备。也提供了关联方法，特别是使用所述装置(150)的方法，所述装置(150)用于通过连续熔合提供在工作台上的粉床的至少一个层的部分而形成三维物品。

    三维基准
    3.
    发明公开
    三维基准 有权

    公开(公告)号：CN103512567A

    公开(公告)日：2014-01-15

    申请号：CN201310255880.2

    申请日：2013-06-25

    申请人： FEI公司

    发明人： C.巴格 ,  G.克拉克 ,  T.汉森 ,  S.E.富勒 ,  J.唐纳德

    IPC分类号： G01C15/02

    CPC分类号： H01J37/30 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/2811 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  Y10T428/24488 ,  Y10T428/24802

    摘要： 一种用于在样品上形成基准并且使用该基准来定位该样品上的所感兴趣的区域的方法和系统，该方法包括通过以下步骤来形成一个基准：在样品上接近于该样品上的所感兴趣的区域处来沉积一种材料块，该材料块从该样品的表面延伸至该样品表面上方的可检测范围；并且使用一个带电粒子束在该材料块的至少两个暴露面中铣削一个预定图案；在形成该基准之后，通过检测该基准的位置来检测该所感兴趣的区域的位置；并且在检测到该所感兴趣的区域的位置之后，用一个带电粒子束来对该所感兴趣的区域进行成像或铣削。

    用于粒子光学仪器的多源GIS
    4.
    发明授权
    用于粒子光学仪器的多源GIS 有权

    公开(公告)号：CN105908150B

    公开(公告)日：2017-06-23

    申请号：CN201610103190.9

    申请日：2016-02-25

    申请人： FEI 公司

    发明人： J.J.L.穆德斯 ,  P.H.F.特罗姆佩纳亚斯 ,  P.多纳

    IPC分类号： C23C16/455

    CPC分类号： C23C14/221 ,  B05B1/005 ,  B05B1/14 ,  B05B7/24 ,  H01J37/30 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

    摘要： 本发明涉及用于在粒子光学仪器的真空室中施用至少两种流体的喷气系统(GIS)，喷气系统具有两个或更多个通道(102,110)，各个通道在第一侧连接至容纳流体的相关联的贮藏器，并且在另一侧具有相关联的出口开口，出口侧经由具有喷嘴开口的喷嘴而单独地退出至GIS的外侧，其特征在于，至少两个出口开口(106,108)以比出口开口附近的通道的直径更小的距离分离，优选地，彼此同中心。本发明还涉及前述GIS的使用，其中中心喷嘴引导高通量的例如氧气，而外部的同中心的喷嘴将例如MeCpPtMe3的金属前驱体以更小两个数量级的通量引导至样品。在单步骤式沉积方法中，通过高通量的氧气而使纯化的金属沉积。喷嘴能够形成为附加喷嘴，使得能够将现有的GIS升级。优选地通过使用例如钛的3‑D打印技术而制造喷嘴。

    具有改进气体传输的离子源
    8.
    发明公开
    具有改进气体传输的离子源 失效

    公开(公告)号：CN1906725A

    公开(公告)日：2007-01-31

    申请号：CN200480037422.0

    申请日：2004-10-15

    申请人： 塞恩技术有限公司

    发明人： 韦恩·圣蒂

    IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32

    CPC分类号： H01J27/146 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/31732

    摘要： 本发明公开一种用于从等离子产生离子束的离子源(100)。在阳极(112)的中心处通过可电离气体的高能电子和分子之间的碰撞产生等离子。电子源自阴极丝，并且通过施加的电势被加速到阳极(112)。阳极的突起(123)和具有与阳极的轴线对齐的轴线的磁场共同作用将电子的流动聚集于阳极(112)的中心。可电离的气体在聚集电子流的位置处或者通过阳极(112)侧壁中的通道(125)或者通过延伸进入电离区域的气体输送管子经由离子源的开口端被引入到离子源(100)的电离区域(113)。产生在电离区域中的离子从离子源被排出作为集中在磁场轴线上的离子束。阳极(112)包括容纳冷却流体的腔(127)。