公开(公告)号：CN106030753A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201480076317.1

申请日：2014-03-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 铃木裕也 ,  长冲功 ,  松本弘昭

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/225 ,  H01J37/252

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/2252 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2561

Abstract: 在能量色散型X射线EDX分析中，由于检测器的大面积化等，产生检测的信号的峰/背比降低的问题。为了解决上述问题，在本发明中，提供一种试样架以及应用了该试样架的带电粒子束装置，试样架的特征在于，具备：主体部，其保持试样(301)；试样压板部(103)，其可自由装卸地设置在上述主体部，通过安装到该主体部来固定在该主体部保持的试样(301)，上述试样压板部(103)具有：第一孔(107)，其用于使带电粒子束(106)经过；第二孔(108)，其向检测器(102)只导入从上述试样(301)产生的信号(302)中的特定的信号(303)。

公开(公告)号：CN106030753B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201480076317.1

申请日：2014-03-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 铃木裕也 ,  长冲功 ,  松本弘昭

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/225 ,  H01J37/252

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/2252 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2561

Abstract: 在能量色散型X射线EDX分析中，由于检测器的大面积化等，产生检测的信号的峰/背比降低的问题。为了解决上述问题，在本发明中，提供一种试样架以及应用了该试样架的带电粒子束装置，试样架的特征在于，具备：主体部，其保持试样(301)；试样压板部(103)，其可自由装卸地设置在上述主体部，通过安装到该主体部来固定在该主体部保持的试样(301)，上述试样压板部(103)具有：第一孔(107)，其用于使带电粒子束(106)经过；第二孔(108)，其向检测器(102)只导入从上述试样(301)产生的信号(302)中的特定的信号(303)。