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公开(公告)号：CN104335082A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201380029764.7
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1847 , B29C59/02 , B32B37/12 , B32B37/24 , B32B38/0012 , B32B2551/00 , G02B5/18 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , Y10T156/1028
Abstract: 本发明提供高精度地制成具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。一种曲面衍射光栅的制造方法，具有：在平板状的硅基板(2)上形成衍射光栅图案(20)的步骤；在加热的状态下向形成有上述衍射光栅图案的硅基板(2)按压具有所希望的曲面形状的固定基板(3)而使上述硅基板曲面化，并且在具有上述曲面形状的固定基板(3)上固定具有上述衍射图案的硅基板(2)来制作曲面衍射光栅的模具(1)的步骤；以及使具有柔软性的部件与上述曲面衍射光栅的模具接触来在该部件上转印衍射光栅图案的步骤。
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公开(公告)号：CN105074512B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201480013530.8
申请日：2014-01-30
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1852 , G01N21/31 , G02B1/04 , G02B5/1814 , G02B5/1857 , G02B5/1861
Abstract: 本发明提供一种制作高精度衍射光栅的技术，能够通过使在硅基板上使用半导体工艺制作的平面衍射光栅沿曲面基板塑性变形，制造具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。其特征为：将使用半导体工艺制作的硅制平面衍射光栅转印至非晶质材料，并将非晶质材料基板曲面化，安装在曲面固定基板上，得到具有抑制转位线的产生的结晶性材料的曲面衍射光栅。
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公开(公告)号：CN104335082B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201380029764.7
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1847 , B29C59/02 , B32B37/12 , B32B37/24 , B32B38/0012 , B32B2551/00 , G02B5/18 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , Y10T156/1028
Abstract: 本发明提供高精度地制成具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。一种曲面衍射光栅的制造方法，具有：在平板状的硅基板(2)上形成衍射光栅图案(20)的步骤；在加热的状态下向形成有上述衍射光栅图案的硅基板(2)按压具有所希望的曲面形状的固定基板(3)而使上述硅基板曲面化，并且在具有上述曲面形状的固定基板(3)上固定具有上述衍射图案的硅基板(2)来制作曲面衍射光栅的模具(1)的步骤；以及使具有柔软性的部件与上述曲面衍射光栅的模具接触来在该部件上转印衍射光栅图案的步骤。
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公开(公告)号：CN105074512A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201480013530.8
申请日：2014-01-30
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1852 , G01N21/31 , G02B1/04 , G02B5/1814 , G02B5/1857 , G02B5/1861
Abstract: 本发明提供一种制作高精度衍射光栅的技术，能够通过使在硅基板上使用半导体工艺制作的平面衍射光栅沿曲面基板塑性变形，制造具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。其特征为：将使用半导体工艺制作的硅制平面衍射光栅转印至非晶质材料，并将非晶质材料基板曲面化，安装在曲面固定基板上，得到具有抑制转位线的产生的结晶性材料的曲面衍射光栅。
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