公开(公告)号：CN103733023B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201280039614.X

申请日：2012-05-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 关口智子 ,  大桥健良 ,  田中润一 ,  程朝晖 ,  常田瑠璃子 ,  川田洋挥 ,  人见圣子

IPC: G01B15/04 ,  G03F1/86 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06K9/4604 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01B15/04 ,  G01N23/22 ,  G06T7/0004 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2816 ,  H01J2237/31754 ,  H01J2237/31796 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在用CD－SEM对于因电子射线照射而收缩的抗蚀剂进行测长时，为了高精度地估计收缩前的形状、尺寸，预先对于各种图案，准备包含电子射线照射前截面形状数据、各种电子射线照射条件下得到的截面形状数据群以及CD－SEM图像数据群、和基于它们的模型的收缩数据库，取得被测定抗蚀剂图案的CD－SEM图像（S102），将CD－SEM图像和收缩数据库进行比对（S103），估计被测定图案的收缩前的形状和尺寸，并输出（S104）。

公开(公告)号：CN104067369B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201380006106.6

申请日：2013-01-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 常田瑠璃子 ,  菊池秀树 ,  鹿岛秀夫

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20242 ,  H01J2237/2614

Abstract: 提供能拍摄观察区域的绕x轴‑180°至+180°的旋转系列像以及绕y轴‑180°至+180°的旋转系列像的装置。其特征在于，具有：样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；第1旋转控制部，其以所述保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予‑180°至+180°的第1旋转；以及第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。

公开(公告)号：CN119537417A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202410393455.8

申请日：2024-04-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 常田瑠璃子 ,  武藤和夫

IPC: G06F16/2453 ,  G06F16/2455

Abstract: 本发明提供一种物性信息检索系统、物性信息检索方法以及存储介质，容易收集为了决定测定条件以及解释测定数据而参照的、与过去测定的物质的测定相关的信息。物质信息数据库保存将确定物质的物质确定信息与至少一个测定记录信息对应起来的物性事例信息，其中，至少一个测定记录信息是针对所述物质的连续的测定数据、所述测定数据的测定条件的信息、根据所述测定数据计算出的测定物性值、表示所述测定数据的特性的测定数据特性信息的组合的信息，当收发部取得物质信息检索条件时，所述处理部检索所述物质信息数据库，取得符合所述物质信息检索条件的物质事例信息，所述收发部输出所述处理部取得的符合物质信息检索条件的物质事例信息。

公开(公告)号：CN104067369A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201380006106.6

申请日：2013-01-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 常田瑠璃子 ,  菊池秀树 ,  鹿岛秀夫

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20242 ,  H01J2237/2614

Abstract: 提供能拍摄观察区域的绕x轴-180°至+180°的旋转系列像以及绕y轴-180°至+180°的旋转系列像的装置。其特征在于，具有：样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；第1旋转控制部，其以所述保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予-180°至+180°的第1旋转；以及第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。

公开(公告)号：CN103733023A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201280039614.X

申请日：2012-05-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 关口智子 ,  大桥健良 ,  田中润一 ,  程朝晖 ,  常田瑠璃子 ,  川田洋挥 ,  大森圣子

IPC: G01B15/04 ,  G03F1/86 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06K9/4604 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01B15/04 ,  G01N23/22 ,  G06T7/0004 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2816 ,  H01J2237/31754 ,  H01J2237/31796 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在用CD－SEM对于因电子射线照射而收缩的抗蚀剂进行测长时，为了高精度地估计收缩前的形状、尺寸，预先对于各种图案，准备包含电子射线照射前截面形状数据、各种电子射线照射条件下得到的截面形状数据群以及CD－SEM图像数据群、和基于它们的模型的收缩数据库，取得被测定抗蚀剂图案的CD－SEM图像（S102），将CD－SEM图像和收缩数据库进行比对（S103），估计被测定图案的收缩前的形状和尺寸，并输出（S104）。