弹性表面波装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1048636A

    公开(公告)日:1991-01-16

    申请号:CN90103485.1

    申请日:1990-07-06

    CPC classification number: H03H3/08 H03H9/02582 H03H9/14538

    Abstract: 一种使用基板4的弹性表面波装置,该基板备有单晶介质2及外延生长在其表面上的压电薄膜3,沿介质2和压电薄膜3的界面形成构成叉指式电极的铝电极5。此铝电极5由在结晶方位方面是在一定方向上取向的铝膜组成,因此可抑制铝电极5的应力迁移,且压电薄膜3在其整个面上都能外延生长。

    弹性表面波装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1015041B

    公开(公告)日:1991-12-04

    申请号:CN90103485.1

    申请日:1990-07-06

    CPC classification number: H03H3/08 H03H9/02582 H03H9/14538

    Abstract: 一种使用基板4的弹性表面波装置,该基板备有单晶介质2及外延生长在其表面上的压电薄膜3,沿介质2和压电薄膜3的界面形成构成叉指式电极的铝电极5。此铝电极5由在结晶方位方面是在一定方向上取向的铝膜组成,因此可抑制铝电极5的应力迁移,且压电薄膜3在其整个面上都能外延生长。

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