公开(公告)号：CN107427743A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201580078446.9

申请日：2015-03-31

Applicant: 株式会社杰希优

Inventor： 村山隆史

IPC: B01D19/00 ,  C25D7/00 ,  C25D7/12 ,  C25D21/04 ,  C25D21/12

CPC classification number: B01D19/00 ,  C25D7/00 ,  C25D7/12 ,  C25D21/04 ,  C25D21/12

Abstract: 不管气体的种类等而可靠地判定用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液的脱气程度。本发明的处理液的脱气判定方法在进行用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液所包含的气体的脱气的脱气处理槽内，浸渍用于判定该脱气处理槽内的上述处理液的脱气程度的在表面具备具有需要的凹凸的精细图案的模拟作业对象物，根据该模拟作业对象物的表面状态的时间变化，判定上述处理液的脱气程度。

公开(公告)号：CN105209670A

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201480026900.1

申请日：2014-03-27

Applicant: 株式会社杰希优

Inventor： 吉冈润一郎 ,  村山隆史

IPC: C25D21/10

CPC classification number: C25D21/10 ,  C25D17/001

Abstract: 本发明的目的在于提供一种镀敷装置，其无须在镀敷槽外设置循环泵，而可提高镀敷液的流速，并可使流速从镀敷槽的底部至液面相同，其结果，可遍及基板全部区域地，进行镀敷膜厚均匀且析出速度快速的镀敷，镀敷装置具备：收容镀敷液的镀敷槽；拆装自如地保持基板的基板保持件；与基板保持件所保持的基板相对置地配置的阳极；以与基板保持件平行的方式架设在镀敷槽的上方的轨道部；以及悬垂支持于该轨道部且可沿轨道部往返移动的桨叶，其特征在于；在该桨叶上垂直设置有以轴部为中心旋转自如或转动自如的叶片部。

公开(公告)号：CN113015824A

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201880099461.5

申请日：2018-12-18

Applicant: 株式会社杰希优

Inventor： 高德诚 ,  江田哲朗 ,  村山隆史

IPC: C25D19/00 ,  C23C28/02 ,  C25D3/38 ,  C25D21/00

Abstract: 本发明的课题是提供一种镀覆装置及镀覆方法，其等即使在作为被镀覆材料的长条状薄片的电阻较大的情形，亦能适当地进行镀覆处理，进一步，使铜等金属薄膜对长条状薄片表面的密着性提升，同时能获得经施以高质量镀覆处理的已生成镍金属皮膜的长条状薄片。本发明的解决方案是一种镀覆装置10，其在卷出侧辊12与卷取侧辊14之间，通过半空中的阴极辊16而维持搬送作为被镀覆材料的长条状薄片18，且同时一边使长条状薄片18以浸入镀覆液20中的状态于设有阳极22的镀覆槽24中搬送，一边由阴极辊16对长条状薄片18进行供电，借此对长条状薄片18进行电镀处理，再者，阴极辊16相对于镀覆槽24位于长条状薄片18搬送方向的上游侧，且与镀覆槽24的上游侧入口的距离设为150mm以下的范围。

公开(公告)号：CN106103813A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480077157.2

申请日：2014-03-27

Applicant: 株式会社杰希优

Inventor： 村山隆史

IPC: C25D17/06

CPC classification number: C25D17/004 ,  C25D17/001 ,  C25D17/005 ,  C25D17/06

Abstract: 本发明的问题是提供一种在成本方面比O型环有利，并能够对各种尺寸和形状的基板夹具进行应对的基板镀敷夹具用衬垫以及利用这种基板镀金夹具用密封件的基板镀敷夹具，所述镀敷夹具用衬垫安装在镀敷夹具上，用于将对基板通电的通电部件和通电部件所连接的基板表面部分密封而不接触镀敷液，并具备：由长条有端的弹性部件构成的衬垫主体；和将所述衬垫主体的两个端部的连接端彼此连接固定而成为无端状的连接部件，所述连接部件由轴部和以规定角度从轴部突出配设的多个钩构成，所述连接部件在衬垫主体内内置配设为，当连接衬垫主体的两个连接端时，跨过所连接的连接端的接缝并在规定范围内从接缝延伸至双方的衬垫主体内。