公开(公告)号：CN101680083B

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN200880015976.9

申请日：2008-04-18

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 广野贵启 ,  多田勲 ,  中塚笃

IPC: C23C14/56

CPC classification number: C23C14/562 ,  B65H27/00 ,  B65H2701/1315

Abstract: 本发明提供一种薄膜传送装置和卷绕式真空成膜方法，其不仅实现了保护基膜的成膜区域的目的，还实现了可使基膜能够平稳地传送的目的。本发明中的卷绕式真空成膜装置(10)包括引导单元(20)，引导单元(20)包括导向辊(17A)和辅助辊(18)，导向辊(17A)具有用来支承基膜(F)的两个侧缘部的一对环形导向部(17b)，辅助辊(18)与导向辊(17A)以互相面对的方式设置，由辅助辊(18)将基膜(F)的两个侧缘部压向一对导向部(17b)，由此可以避免基膜(F)的成膜区域(Fc)接触到引导单元(20)的导向辊(17A)和辅助辊(18)的各个辊表面，因而可以实现保护成膜区域(Fc)的目的。

公开(公告)号：CN101680083A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880015976.9

申请日：2008-04-18

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 广野贵启 ,  多田勲 ,  中塚笃

IPC: C23C14/56

CPC classification number: C23C14/562 ,  B65H27/00 ,  B65H2701/1315

Abstract: 本发明提供一种薄膜传送装置和卷绕式真空成膜方法，其不仅实现了保护基膜的成膜区域的目的，还实现了可使基膜能够平稳地传送的目的。本发明中的卷绕式真空成膜装置(10)包括引导单元(20)，引导单元(20)包括导向辊(17A)和辅助辊(18)，导向辊(17A)具有用来支承基膜(F)的两个侧缘部的一对环形导向部(17b)，辅助辊(18)与导向辊(17A)以互相面对的方式设置，由辅助辊(18)将基膜(F)的两个侧缘部压向一对导向部(17b)，由此可以避免基膜(F)的成膜区域(Fc)接触到引导单元(20)的导向辊(17A)和辅助辊(18)的各个辊表面，因而可以实现保护成膜区域(Fc)的目的。

公开(公告)号：CN301824314S

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201130038697.9

申请日：2011-02-28

Applicant: 株式会社爱发科

Designer： 藤本信也 ,  林信博 ,  广野贵启 ,  多田勲 ,  齐藤修司

Abstract: 1.本外观设计产品名称为成膜机，用于在减压条件下在原材料膜上形成薄膜。2.本外观设计的设计要点在于该外观设计产品的形状和结构。3.设计1的立体图1为本外观设计的代表图。4.本外观设计产品的底部在使用中不可见，省略各设计的仰视图。5.本外观设计包含三项相似设计，其中设计1为基本设计。6.设计1主视参考图、设计1后视参考图、设计2主视参考图、设计2后视参考图、设计3主视参考图、设计3后视参考图中的A-N部是透明的。

公开(公告)号：CN300708606D

公开(公告)日：2007-11-14

申请号：CN200630189344.8

申请日：2006-11-20

Applicant: 株式会社爱发科

Designer： 横井伸 ,  多田勲 ,  中塚笃

Abstract: 1.本外观设计产品为重型设备，省略仰视图。