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公开(公告)号：CN109609901B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201811108141.X
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种能够对基板的位置提高检测精度的位置检测装置及蒸镀装置。位置检测装置(10)具备：拍摄部(11)，其拍摄第1像和第2像，该第1像基于由基板(W)的平坦部(Wp1)反射的光形成，该第2像基于由与平坦部(Wp1)连接的斜面部(Wp2)反射的光形成；以及图像处理部(12)，其基于第1像和第2像的对比度提取平坦部(Wp1)和斜面部(Wp2)的边界作为基板(W)的外形的一部分，根据该提取的外形的一部分来确定基板(W)的位置。
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公开(公告)号：CN107893211A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710891266.3
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本申请提供一种能够使俯视时的遮蔽板的面积连续地变化，并抑制大型化的成膜装置。为达成上述目的，本发明的一个方面的成膜装置具备真空槽、成膜源、支撑架以及第一遮蔽机构。所述成膜源设置在所述真空槽内。所述支撑架设置在所述真空槽内。所述支撑架与所述成膜源相对，并能支撑工件。所述支撑架能够围绕第一轴旋转。所述第一遮蔽机构以能够围绕与所述第一轴交叉的第二轴旋转的方式设置在所述成膜源和所述支撑架之间。所述第一遮蔽机构包括从所述第一轴方向观察时在第一旋转位置具有第一面积、在第二旋转位置具有与所述第一面积不同的第二面积的第一遮蔽板。
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公开(公告)号：CN107893211B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201710891266.3
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本申请提供一种能够使俯视时的遮蔽板的面积连续地变化，并抑制大型化的成膜装置。为达成上述目的，本发明的一个方面的成膜装置具备真空槽、成膜源、支撑架以及第一遮蔽机构。所述成膜源设置在所述真空槽内。所述支撑架设置在所述真空槽内。所述支撑架与所述成膜源相对，并能支撑工件。所述支撑架能够围绕第一轴旋转。所述第一遮蔽机构以能够围绕与所述第一轴交叉的第二轴旋转的方式设置在所述成膜源和所述支撑架之间。所述第一遮蔽机构包括从所述第一轴方向观察时在第一旋转位置具有第一面积、在第二旋转位置具有与所述第一面积不同的第二面积的第一遮蔽板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109609901A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811108141.X
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种能够对基板的位置提高检测精度的位置检测装置及蒸镀装置。位置检测装置(10)具备：拍摄部(11)，其拍摄第1像和第2像，该第1像基于由基板(W)的平坦部(Wp1)反射的光形成，该第2像基于由与平坦部(Wp1)连接的斜面部(Wp2)反射的光形成；以及图像处理部(12)，其基于第1像和第2像的对比度提取平坦部(Wp1)和斜面部(Wp2)的边界作为基板(W)的外形的一部分，根据该提取的外形的一部分来确定基板(W)的位置。
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公开(公告)号：CN107893213B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201710891342.0
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本申请提供一种可以相互交换的炉床单元、蒸发源以及成膜装置。本发明的一个方面的炉床单元具备炉床主体、至少1个第一炉床模块以及至少1个第二炉床模块。炉床主体具有各自包括冷却用的第一通路的多个区域。第一炉床模块具有第一容纳部和第一安装部。第一容纳部容纳第一蒸镀材料，并具有第二通路。第一安装部设置在多个区域的一部分，并具有使第二通路与第一通路连通的第三通路。第二炉床模块具有第二容纳部和第二安装部。第二容纳部容纳第二蒸镀材料。第二安装部设置在多个区域的另一部分，并切断第二容纳部与第一通路的连通，并且对于多个区域的各个区域，与第一安装部具有互换形状。
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公开(公告)号：CN107893213A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710891342.0
申请日：2017-09-27
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本申请提供一种可以相互交换的炉床单元、蒸发源以及成膜装置。本发明的一个方面的炉床单元具备炉床主体、至少1个第一炉床模块以及至少1个第二炉床模块。炉床主体具有各自包括冷却用的第一通路的多个区域。第一炉床模块具有第一容纳部和第一安装部。第一容纳部容纳第一蒸镀材料，并具有第二通路。第一安装部设置在多个区域的一部分，并具有使第二通路与第一通路连通的第三通路。第二炉床模块具有第二容纳部和第二安装部。第二容纳部容纳第二蒸镀材料。第二安装部设置在多个区域的另一部分，并切断第二容纳部与第一通路的连通，并且对于多个区域的各个区域，与第一安装部具有互换形状。
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