-
公开(公告)号：CN109898060A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201811495423.X
申请日：2018-12-07
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置，其能够将基板、蒸镀掩模等调整对象的温度和目标温度的差异减小。基板(W)和蒸镀掩模(M)的至少一方是温度的调整对象，蒸镀装置具备：电阻加热器(22)，其以与调整对象热接触的方式对调整对象的温度进行调整；以及温度调整部(33)，其基于调整对象的温度来控制向电阻加热器(22)供给的电流。比被搬入到真空槽(16)时的调整对象的温度高的温度是调整对象的目标温度。温度调整部(33)将蒸镀材料从蒸镀源(11)放出时的目标温度设定成仅通过电阻加热器(22)的热量供给和该热量供给的停止而到达的温度。
-
公开(公告)号：CN108239744B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201711430447.2
申请日：2017-12-26
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 一种间隙计量方法，包含：以从掩膜板向基板的方向为上，使基板和掩膜板上下对齐并重叠，并借助接触板将保持装置配置在基板上，从而以夹持该基板的方式将掩膜板保持在接触板上；以在基板的一面内彼此正交的两个方向为X轴方向和Y轴方向，将具有发光元件和受光元件的计量部隔开配置在计量对象物下方；以发光元件发出的光在基板下表面反射的位置为起点，从该起点开始使计量部对计量对象物在X向和Y向中的至少一个方向上相对进行扫描，在发光元件发出的光在掩膜板发生反射的计量位置从发光元件照射光并由受光元件接收该反射的光，从而取得掩膜板相对于计量部的位移量所对应的扫描数据；以及根据扫描数据和掩膜板的厚度计量基板和掩膜板间的间隙。
-
公开(公告)号：CN110004406B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201811553630.6
申请日：2018-12-18
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种能够将基板和掩模的相对位置的精度提高的蒸镀装置。具备：保持机构，其在收纳有蒸镀源(51)的蒸镀室(50)内以使非透射性的基板(W)的表面(WF)朝向蒸镀源(51)的状态保持基板(W)，并且在蒸镀源(51)与基板(W)之间保持蒸镀掩模(M)；拍摄部，其从基板(W)的与蒸镀掩模(M)侧相反的一侧对蒸镀室(50)内的基板(W)和蒸镀掩模(M)进行拍摄；上部结构体，其连接到保持机构及拍摄部；下部结构体，其支承上部结构体；以及连接部(59)，其被上部结构体和下部结构体夹着，对上部结构体和下部结构体进行连接，连接部(59)具备抑制振动从下部结构体向上部结构体传递的防振功能。
-
公开(公告)号：CN109609901B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201811108141.X
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种能够对基板的位置提高检测精度的位置检测装置及蒸镀装置。位置检测装置(10)具备：拍摄部(11)，其拍摄第1像和第2像，该第1像基于由基板(W)的平坦部(Wp1)反射的光形成，该第2像基于由与平坦部(Wp1)连接的斜面部(Wp2)反射的光形成；以及图像处理部(12)，其基于第1像和第2像的对比度提取平坦部(Wp1)和斜面部(Wp2)的边界作为基板(W)的外形的一部分，根据该提取的外形的一部分来确定基板(W)的位置。
-
公开(公告)号：CN108239744A
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201711430447.2
申请日：2017-12-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/24 , C23C14/54
Abstract: 一种间隙计量方法，包含：以从掩膜板向基板的方向为上，使基板和掩膜板上下对齐并重叠，并借助接触板将保持装置配置在基板上，从而以夹持该基板的方式将掩膜板保持在接触板上；以在基板的一面内彼此正交的两个方向为X轴方向和Y轴方向，将具有发光元件和受光元件的计量部隔开配置在计量对象物下方；以发光元件发出的光在基板下表面反射的位置为起点，从该起点开始使计量部对计量对象物在X向和Y向中的至少一个方向上相对进行扫描，在发光元件发出的光在掩膜板发生反射的计量位置从发光元件照射光并由受光元件接收该反射的光，从而取得掩膜板相对于计量部的位移量所对应的扫描数据；以及根据扫描数据和掩膜板的厚度计量基板和掩膜板间的间隙。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109898060B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201811495423.X
申请日：2018-12-07
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置，其能够将基板、蒸镀掩模等调整对象的温度和目标温度的差异减小。基板(W)和蒸镀掩模(M)的至少一方是温度的调整对象，蒸镀装置具备：电阻加热器(22)，其以与调整对象热接触的方式对调整对象的温度进行调整；以及温度调整部(33)，其基于调整对象的温度来控制向电阻加热器(22)供给的电流。比被搬入到真空槽(16)时的调整对象的温度高的温度是调整对象的目标温度。温度调整部(33)将蒸镀材料从蒸镀源(11)放出时的目标温度设定成仅通过电阻加热器(22)的热量供给和该热量供给的停止而到达的温度。
-
公开(公告)号：CN109554662B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201810679701.0
申请日：2018-06-27
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供能够提高基板位置的检测精度的位置检测装置、位置检测方法以及蒸镀装置。图像处理部(20)根据正面摄像部的各照相机(11)对基板标记(Wm)进行摄像的结果算出正面摄像部的照相机(11)间的相对位置，并使用该照相机(11)间的相对位置和正面摄像部的各照相机(11)对处理基板(W)进行摄像的结果算出基于正面摄像的处理基板(W)的位置，并且根据背面摄像部的各照相机(12)对基板标记(Wm)的透射图像进行摄像的结果算出背面摄像部的照相机(12)间的相对位置，并使用该照相机(12)间的相对位置和背面摄像部的各照相机(12)对处理基板(W)进行摄像的结果算出基于背面摄像的处理基板(W)的位置。
-
公开(公告)号：CN110004406A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201811553630.6
申请日：2018-12-18
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种能够将基板和掩模的相对位置的精度提高的蒸镀装置。具备：保持机构，其在收纳有蒸镀源(51)的蒸镀室(50)内以使非透射性的基板(W)的表面(WF)朝向蒸镀源(51)的状态保持基板(W)，并且在蒸镀源(51)与基板(W)之间保持蒸镀掩模(M)；拍摄部，其从基板(W)的与蒸镀掩模(M)侧相反的一侧对蒸镀室(50)内的基板(W)和蒸镀掩模(M)进行拍摄；上部结构体，其连接到保持机构及拍摄部；下部结构体，其支承上部结构体；以及连接部(59)，其被上部结构体和下部结构体夹着，对上部结构体和下部结构体进行连接，连接部(59)具备抑制振动从下部结构体向上部结构体传递的防振功能。
-
公开(公告)号：CN109609901A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811108141.X
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种能够对基板的位置提高检测精度的位置检测装置及蒸镀装置。位置检测装置(10)具备：拍摄部(11)，其拍摄第1像和第2像，该第1像基于由基板(W)的平坦部(Wp1)反射的光形成，该第2像基于由与平坦部(Wp1)连接的斜面部(Wp2)反射的光形成；以及图像处理部(12)，其基于第1像和第2像的对比度提取平坦部(Wp1)和斜面部(Wp2)的边界作为基板(W)的外形的一部分，根据该提取的外形的一部分来确定基板(W)的位置。
-
公开(公告)号：CN109554662A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201810679701.0
申请日：2018-06-27
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供能够提高基板位置的检测精度的位置检测装置、位置检测方法以及蒸镀装置。图像处理部(20)根据正面摄像部的各照相机(11)对基板标记(Wm)进行摄像的结果算出正面摄像部的照相机(11)间的相对位置，并使用该照相机(11)间的相对位置和正面摄像部的各照相机(11)对处理基板(W)进行摄像的结果算出基于正面摄像的处理基板(W)的位置，并且根据背面摄像部的各照相机(12)对基板标记(Wm)的透射图像进行摄像的结果算出背面摄像部的照相机(12)间的相对位置，并使用该照相机(12)间的相对位置和背面摄像部的各照相机(12)对处理基板(W)进行摄像的结果算出基于背面摄像的处理基板(W)的位置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
11
records
(took 0.021 seconds)
