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公开(公告)号：CN109423602A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810788659.6
申请日：2018-07-18
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种掩膜板，其在通过磁铁阵列的吸引力将掩膜板紧密贴合在基板的下表面以使基板(Sw)夹隔在接触板(Tp)和掩膜板(MP)之间时，可尽量抑制在图案掩膜部(1)的透孔(11)周边的突起，并可防止已形成的薄膜上发生掩膜失效。本发明的掩膜板(MP)具有：图案掩膜部(1)，其由以规定的图案开设并贯通板厚度方向的多个透孔(11)构成；以及遮挡部(2)，其位于图案掩膜部的周围。至少在磁铁的并列设置方向上与图案掩膜部相邻的遮挡部的部分(21)形成为与图案掩膜部的磁导率相同。
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公开(公告)号：CN109423602B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201810788659.6
申请日：2018-07-18
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种掩膜板，其在通过磁铁阵列的吸引力将掩膜板紧密贴合在基板的下表面以使基板(Sw)夹隔在接触板(Tp)和掩膜板(MP)之间时，可尽量抑制在图案掩膜部(1)的透孔(11)周边的突起，并可防止已形成的薄膜上发生掩膜失效。本发明的掩膜板(MP)具有：图案掩膜部(1)，其由以规定的图案开设并贯通板厚度方向的多个透孔(11)构成；以及遮挡部(2)，其位于图案掩膜部的周围。至少在磁铁的并列设置方向上与图案掩膜部相邻的遮挡部的部分(21)形成为与图案掩膜部的磁导率相同。
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公开(公告)号：CN100567562C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200580004527.0
申请日：2005-02-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L21/68707 , C23C14/0078 , C23C14/505 , C23C14/568 , C23C16/4584 , C23C16/54 , H01L21/67201 , H01L21/67207 , H01L21/68721 , H01L21/68764 , H01L21/68771
Abstract: 本发明提供用简单的构造、可容易地将基板相对于筒式基板座的外周面安装、取下的薄膜形成装置。筒式基板座(5)以水平方向的旋转轴为旋转中心，以水平状态可旋转地支承在成膜室内。用臂把固定保持着基板(12)的基板固定夹具(13)水平地运送到筒式基板座(5)的外周面上。这样，可以用设在筒式基板座(5)外周面角部(5a)上的固定装置(14)，将基板固定夹具(13)的端部(13b)固定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108138309B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680058441.4
申请日：2016-10-05
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。
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公开(公告)号：CN108138309A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680058441.4
申请日：2016-10-05
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。
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公开(公告)号：CN1918321A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200580004527.0
申请日：2005-02-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L21/68707 , C23C14/0078 , C23C14/505 , C23C14/568 , C23C16/4584 , C23C16/54 , H01L21/67201 , H01L21/67207 , H01L21/68721 , H01L21/68764 , H01L21/68771
Abstract: 本发明提供用简单的构造、可容易地将基板相对于筒式基板座的外周面安装、取下的薄膜形成装置。筒式基板座(5)以水平方向的旋转轴为旋转中心，以水平状态可旋转地支承在成膜室内。用臂把固定保持着基板(12)的基板固定夹具(13)水平地运送到筒式基板座(5)的外周面上。这样，可以用设在筒式基板座(5)外周面角部(5a)上的固定装置(14)，将基板固定夹具(13)的端部(13b)固定。
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