公开(公告)号：CN107109618B

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201680004832.8

申请日：2016-06-08

申请人： 株式会社爱发科

发明人： 藤长徹志 ,  井堀敦仁 ,  松本昌弘 ,  谷典明 ,  岩井治宪 ,  岩田贤二 ,  佐藤良直

IPC分类号： C23C14/02 ,  H05H1/46

摘要： 基板处理装置，具备：阳极单元(17)，包含第一板(23)和第二板(24)。第一板(23)包含多个第一贯穿孔(23a)，通过使气体穿过第一贯穿孔流动，从而使气体往第一板(23)的面方向扩散。第二板(24)包含比第一贯穿孔(23a)大的多个第二贯穿孔(24a)。第二板(24)使穿过第一贯穿孔(23a)的气体穿过多个第二贯穿孔(24a)，从而在第二板(24)与阴极载台之间流动。第二贯穿孔(24a)具有使各第二贯穿孔的内部的等离子发光强度高于在第二板(24)与阴极载台之间产生的等离子的发光强度的形状。

公开(公告)号：CN107109618A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201680004832.8

申请日：2016-06-08

申请人： 株式会社爱发科

发明人： 藤长徹志 ,  井堀敦仁 ,  松本昌弘 ,  谷典明 ,  岩井治宪 ,  岩田贤二 ,  佐藤良直

IPC分类号： C23C14/02 ,  H05H1/46

摘要： 基板处理装置，具备：阳极单元(17)，包含第一板(23)和第二板(24)。第一板(23)包含多个第一贯穿孔(23a)，通过使气体穿过第一贯穿孔流动，从而使气体往第一板(23)的面方向扩散。第二板(24)包含比第一贯穿孔(23a)大的多个第二贯穿孔(24a)。第二板(24)使穿过第一贯穿孔(23a)的气体穿过多个第二贯穿孔(24a)，从而在第二板(24)与阴极载台之间流动。第二贯穿孔(24a)具有使各第二贯穿孔的内部的等离子发光强度高于在第二板(24)与阴极载台之间产生的等离子的发光强度的形状。