运输装置及具有该运输装置的一列式真空处理装置

    公开(公告)号:CN117800088A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202310907147.8

    申请日:2023-07-24

    Abstract: 本发明提供一种运转成本的削减效果高的运输装置,其用于在真空室内在一个方向上运输能够使被处理基板以其处理面开放的状态设置的运输托盘。运输装置(TM)具备一对运输单元(Tm1、Tm2),各运输单元具有:运输带(23a、23b),其卷绕在沿运输托盘的运输方向留出间隔设置的两个旋转部件(21a、21b、22a、22b)之间并环绕行进;以及多个支撑辊(24),其支撑载置有运输托盘的运输带的部分。运输带构成为,在使各运输带同步环绕行进,重复进行跨置于这些运输带载置的运输托盘向X轴方向的运输时,比运输托盘优先变形。

    光照射装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101464599B

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN200810188571.7

    申请日:2008-12-17

    Abstract: 本发明提供一种可以在力求节电的同时避免部件数量增加,而且相对于密封材的图案独立地对密封材进行光照射的光照射装置。紫外线照射装置(1)的载置台(13)具有载置通过光硬化树脂所形成的线状密封材粘合而成的2片基板所形成的粘合基板(W)的载置面。紫外线照射装置(1)具有按线状排列有可进行光照射并且可单独打开关闭的多个UVLED的照射部(22a~22d)。各照射部(22a~22d)从多个UVLED其中至少一个使与密封材的宽度相符的线状光朝向粘合基板W照射。X轴致动器(19)可以在载置台(13)其中载置粘合基板W的载置面的平行面内使各照射部(22a~22d)沿与UVLED排列方向相交的方向移动。控制部根据密封材的图案对各UVLED进行打开关闭。

    光照射装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101464599A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200810188571.7

    申请日:2008-12-17

    Abstract: 本发明提供一种可以在力求节电的同时避免部件数量增加,而且相对于密封材的图案独立地对密封材进行光照射的光照射装置。紫外线照射装置(1)的载置台(13)具有载置通过光硬化树脂所形成的线状密封材粘合而成的2片基板所形成的粘合基板(W)的载置面。紫外线照射装置(1)具有按线状排列有可进行光照射并且可单独打开关闭的多个UVLED的照射部(22a~22d)。各照射部(22a~22d)从多个UVLED其中至少一个使与密封材的宽度相符的线状光朝向粘合基板W照射。X轴致动器(19)可以在载置台(13)其中载置粘合基板W的载置面的平行面内使各照射部(22a~22d)沿与UVLED排列方向相交的方向移动。控制部根据密封材的图案对各UVLED进行打开关闭。

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