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    运输装置及具有该运输装置的一列式真空处理装置
    1.
    发明公开
    运输装置及具有该运输装置的一列式真空处理装置 审中-公开

    公开(公告)号：CN117800088A

    公开(公告)日：2024-04-02

    申请号：CN202310907147.8

    申请日：2023-07-24

    申请人： 株式会社爱发科

    发明人： 深尾万里 ,  泽森朗 ,  久保隼 ,  远藤茂

    IPC分类号： B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H10K59/12 ,  H10K71/16 ,  B65G43/00

    摘要： 本发明提供一种运转成本的削减效果高的运输装置，其用于在真空室内在一个方向上运输能够使被处理基板以其处理面开放的状态设置的运输托盘。运输装置(TM)具备一对运输单元(Tm1、Tm2)，各运输单元具有：运输带(23a、23b)，其卷绕在沿运输托盘的运输方向留出间隔设置的两个旋转部件(21a、21b、22a、22b)之间并环绕行进；以及多个支撑辊(24)，其支撑载置有运输托盘的运输带的部分。运输带构成为，在使各运输带同步环绕行进，重复进行跨置于这些运输带载置的运输托盘向X轴方向的运输时，比运输托盘优先变形。

    光照射装置的光照射方法以及光照射装置
    2.
    发明授权
    光照射装置的光照射方法以及光照射装置 失效

    公开(公告)号：CN101978308B

    公开(公告)日：2012-09-19

    申请号：CN201080001281.2

    申请日：2010-01-27

    申请人： 株式会社爱发科

    发明人： 远藤茂 ,  羽田野宪彦 ,  门胁徹二

    IPC分类号： G02F1/1339 ,  G02F1/1341 ,  G02F1/13

    CPC分类号： G02F1/1339 ,  G02F1/1333

    摘要： 一种从包含沿着一个方向(X)排列的多个光学元件(LED)的光照射装置照射直线状光束(LB)的方法。所述方法具备以下步骤：通过从各个光学元件(LED)照射具有椭圆形状照射区域(T)的光线，并且将各个照射区域(T)重叠，来生成具有沿着一个方向(X)延伸的光照射面(SF)的直线状光束；使直线状光束的光照射面(SF)沿着一个方向(X)与形成在基板(P)上的直线状光固化性树脂(S)对峙；将直线状光束照射在直线状光固化性树脂(S)上；在将直线状光束照射在直线状光固化性树脂上的期间，使直线状光束的光照射面(SF)和基板(P)的一方沿着一个方向(X)相对移动。

    光照射装置
    3.
    发明公开
    光照射装置 无效

    公开(公告)号：CN102388336A

    公开(公告)日：2012-03-21

    申请号：CN201080002236.9

    申请日：2010-07-20

    申请人： 株式会社爱发科

    发明人： 远藤茂 ,  羽田野宪彦 ,  门胁徹二

    IPC分类号： G02F1/1339 ,  F21V13/02 ,  F21Y101/02

    CPC分类号： G02F1/1339

    摘要： 光照射装置具备：载置台(ST)，其载置形成有直线状的光固化性树脂(S)的基板；和光照射单元(3)，其包括沿着一个方向排列的多个光学元件(LED)。光照射单元(3)通过将从多个光学元件(LED)出射的光束重叠来生成沿着所述一个方向延伸的直线状光束(LB)，并且一边使直线状光束(LB)沿着所述一个方向与形成在基板上的直线状的光固化性树脂(S)对峙，一边对其进行照射。光照射装置进一步具备光吸收部件(18)，该光吸收部件形成在载置台(ST)的表面。

    光照射装置的光照射方法以及光照射装置
    5.
    发明公开
    光照射装置的光照射方法以及光照射装置 失效

    公开(公告)号：CN101978308A

    公开(公告)日：2011-02-16

    申请号：CN201080001281.2

    申请日：2010-01-27

    申请人： 株式会社爱发科

    发明人： 远藤茂 ,  羽田野宪彦 ,  门胁徹二

    IPC分类号： G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/1341

    CPC分类号： G02F1/1339 ,  G02F1/1333

    摘要： 一种从包含沿着一个方向(X)排列的多个光学元件(LED)的光照射装置照射直线状光束(LB)的方法。所述方法具备以下步骤：通过从各个光学元件(LED)照射具有椭圆形状照射区域(T)的光线，并且将各个照射区域(T)重叠，来生成具有沿着一个方向(X)延伸的光照射面(SF)的直线状光束；使直线状光束的光照射面(SF)沿着一个方向(X)与形成在基板(P)上的直线状光固化性树脂(S)对峙；将直线状光束照射在直线状光固化性树脂(S)上；在将直线状光束照射在直线状光固化性树脂上的期间，使直线状光束的光照射面(SF)和基板(P)的一方沿着一个方向(X)相对移动。