磁记录介质的制造方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102160116B

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN200980136655.9

    申请日:2009-09-17

    CPC classification number: G11B5/855

    Abstract: 制造磁图案的对比度高的磁记录介质。通过改变用于加速处理气体的离子的加速电压,即便作为抗蚀剂(49)的薄膜部分的离子透过部(48)的膜厚减少,也能够将目标元素的注入量为最大的距磁性层(44)的深度(峰值深度D0、D1)设为设定的深度。通过将峰值深度(D0、D1)设为设定的深度,将磁性膜(44)的处理部(43)从表面非磁性化至背面,并分离磁性部,因而得到磁图案的对比度高的磁记录介质。

    离子注入装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102203856B

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN200980143329.0

    申请日:2009-10-27

    Abstract: 本发明涉及离子注入装置。本发明的离子注入装置(10)具有配置在照射离子的照射范围(5)内的测定对象物(31)。在通过向处理对象物(40)照射处理气体离子和所述处理气体离子中性化的中性化粒子,由此,向所述处理对象物(40)注入原子时,向测定对象物(31)也照射所述处理气体离子和所述中性化粒子,所以,所述测定对象物(31)的温度上升。并且,控制装置(34)根据所计测的所述测定对象物(31)的温度求出所述处理对象物(40)的原子注入量。由此,能够提供正确测定原子注入量的离子注入装置。

    磁存储介质制造方法、磁存储介质、以及信息存储装置

    公开(公告)号:CN102197425A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN200980142558.0

    申请日:2009-11-18

    CPC classification number: G11B5/855

    Abstract: 本发明的目的是提供能够制造磁存储介质的简单制造方法、可以通过该简单制造方法制造的具有高记录密度的磁存储介质以及信息存储装置。通过具有以下步骤的制造方法制造磁盘(10):成膜步骤(A),在基板(61)上形成由Co-Cr-Pt合金制成的且具有小于10nm的厚度的磁性膜(62);以及离子注入步骤(C),将离子局部地注入除了形成磁性点的多个区域以外的其他区域降低其饱和磁化强度,从而在所述磁性点之间形成饱和磁化强度比所述磁性点的饱和磁化强度小的所述点间分隔体,在磁性点中以磁的方式记录信息。

    离子注入装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102203856A

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN200980143329.0

    申请日:2009-10-27

    Abstract: 本发明涉及离子注入装置。本发明的离子注入装置(10)具有配置在照射离子的照射范围(5)内的测定对象物(31)。在通过向处理对象物(40)照射处理气体离子和所述处理气体离子中性化的中性化粒子,由此,向所述处理对象物(40)注入原子时,向测定对象物(31)也照射所述处理气体离子和所述中性化粒子,所以,所述测定对象物(31)的温度上升。并且,控制装置(34)根据所计测的所述测定对象物(31)的温度求出所述处理对象物(40)的原子注入量。由此,能够提供正确测定原子注入量的离子注入装置。

    磁记录介质的制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102160116A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN200980136655.9

    申请日:2009-09-17

    CPC classification number: G11B5/855

    Abstract: 制造磁图案的对比度高的磁记录介质。通过改变用于加速处理气体的离子的加速电压,即便作为抗蚀剂(49)的薄膜部分的离子透过部(48)的膜厚减少,也能够将目标元素的注入量为最大的距磁性层(44)的深度(峰值深度D0、D1)设为设定的深度。通过将峰值深度(D0、D1)设为设定的深度,将磁性膜(44)的处理部(43)从表面非磁性化至背面,并分离磁性部,因而得到磁图案的对比度高的磁记录介质。

Patent Agency Ranking