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公开(公告)号：CN110352336B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201880016726.0
申请日：2018-03-02
申请人： 株式会社神户制钢所
摘要： 提供一种高温高压炉用的温度测量器（7），具备如下结构：能够防止绝缘管（10）相对于一对的金属体（8a、8b）的相对变位。在绝缘管（10）的轴向端部设置有顶端卡合部（22）。温度测量器（7）还具备将一对的金属体（8a、8b）的顶端部彼此连接的连接部件（15、17）。绝缘管（10）通过顶端卡合部（22）而卡止于连接部件（15、17），以便限制相对于一对的金属体（8a、8b）的周向的相对变位。
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公开(公告)号：CN105229402B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201480030768.1
申请日：2014-05-02
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： B30B11/002 , B22F3/15 , B22F2003/153 , B22F2203/11 , B28B3/006 , F27B5/04 , F27B5/06 , F27B5/16 , F27B17/0025 , F27D7/02 , F27D7/04 , F27D7/06 , F27D9/00 , H01L21/67109
摘要： 提供一种能够在抑制高压容器的下部的温度的同时将HIP处理的热区内效率良好地冷却的HIP装置（1）。该HIP装置（1）具备：气体不透过性的壳体（3、4），将被处理物（W）包围；加热部（7），设在壳体（3、4）的内侧，在被处理物（W）的周围形成热区；高压容器（2）；和冷却部，将在壳体的外侧被冷却的压媒气体向热区内引导而将该热区冷却。冷却部包括：气体导入部，将在壳体（3、4）的外侧被冷却的压媒气体向热区内导入；和冷却促进部（37），通过使在壳体的外侧被冷却的压媒气体与高压容器（2）的底体（11）热交换，将压媒气体冷却。
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公开(公告)号：CN105378415A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480039833.7
申请日：2014-06-10
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： B30B11/002 , F27B17/00 , F27B17/0083 , F27D7/04 , F27D9/00
摘要： 提供一种能够进行处理室内的迅速的冷却的HIP装置（1）。HIP装置（1）具备壳（3、4）、加热部（7）、高压容器（2）、蓄热器（43）、及冷却促进流路（42），前述壳（3、4）是非透气性的，前述蓄热器（43）被设置于处理室的下侧。壳（3、4）配置成形成第1循环流（41）并且形成第2循环流（42），前述第1循环流（41）为，传压介质气体穿过该壳内的内侧流路（22）及外侧流路（12）回到内侧流路（22），前述第2循环流（42）为，从第1循环流（41）分岔的传压介质气体与前述被处理物热（W）热交换后返回至第1循环流（41）。冷却促进流路（42）使与被处理物（W）热交换之后的前述第2循环流（42）的传压介质气体在该传压介质气体与前述第1循环流合流（41）之前引导至蓄热器（43），使其在该蓄热器（43）中冷却。
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公开(公告)号：CN100477074C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200310102886.2
申请日：2003-10-22
申请人： 株式会社神户制钢所 , 大日本屏影象制造株式会社
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/302 , G03F7/00
CPC分类号： H01L21/67017 , B08B7/0021
摘要： 本发明提供一种高压处理方法及高压处理装置，使用高压流体而对被处理体施予高压处理，其中，将所述高压流体冲撞到配置在高压处理室内的所述被处理体表面上之后，沿其表面流到该被处理体外边。
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公开(公告)号：CN1501439A
公开(公告)日：2004-06-02
申请号：CN200310103884.5
申请日：2003-11-18
申请人： 大日本网目版制造株式会社 , 株式会社神户制钢所
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/302 , B08B3/00
CPC分类号： H01L21/67051 , G11B7/261 , G11B7/265 , H01L21/67028 , Y10S134/902
摘要： 本发明提供一种基板处理方法、基板处理装置和基板处理系统。可使基板无损坏地顺利实行由湿式处理到干燥处理一系列处理。在显像处理单元(10A、10B)中对基板W顺序进行显像处理、冲洗处理和置换处理后，在该基板(W)由干燥防止液润湿的状态下，由主自动输送装置(30)湿式输送到超临界干燥单元(20)。由此超临界干燥单元(20)单独进行高压干燥处理(超临界干燥处理)。因此，不用限定显像处理可用的显像液种类，不会产生超临界干燥单元(20)的压力容器(202)内的腐蚀等问题，就可进行由显像处理到高压干燥处理的一系列处理。由于干燥防止液的存在，还具有防止基板(W)输送中基板(W)自然干燥的效果。
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公开(公告)号：CN107150456A
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201710123929.7
申请日：2017-03-03
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： B30B11/002 , B22F3/003 , B30B15/34 , F27B17/00 , F27B17/0083 , F27D7/04
摘要： 本发明提供一种热等静压加压装置，其具备能够将压媒气体在冷却的同时向压力容器外排出的构造。在构成上盖（2）的上盖冷却板（10）上设有冷媒通路（15），所述上盖（2）将压力容器主体（1）的端部开口封闭；HIP装置（100）具有安装在上盖冷却板（10）的下表面（10b）（内侧面）上的流路形成板（8）。在上盖冷却板（10）与流路形成板（8）之间，形成有压媒气体的流路（20、21），该流路（20、21）一端（20a、21a）连接在压媒气体出入口（17a）上，另一端（20b、21b）在压力容器主体（1）中开口。
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公开(公告)号：CN103009659B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201210351096.7
申请日：2012-09-20
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： B30B11/002 , B22F3/003
摘要： 本发明提供一种热等静压加压装置。有关本发明的热等静压加压装置，是在收容被处理物的高压容器的内侧具备包围该被处理物而配设的非透气性的壳体、和设在该壳体的内侧、在被处理物的周围形成热区的加热机构、使用热区内的压力介质气体对被处理物进行等静压加压处理的热等静压加压装置。设有将在壳体的外侧被从上方朝向下方引导而被冷却的压力介质气体向热区内引导而将该热区冷却的冷却机构；在冷却机构中，为了将热区内效率良好地冷却，具备将在壳体的外侧被冷却后的压力介质气体以不与热区内的压力介质气体交会的方式从高压容器的下部引导到热区的上部、向热区内导入的气体导入机构。
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公开(公告)号：CN100366332C
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN02802472.9
申请日：2002-07-22
申请人： 大日本网目版制造株式会社 , 株式会社神户制钢所
IPC分类号： B01J3/00 , B01J3/02 , H01L21/304 , B08B3/02
CPC分类号： H01L21/67051 , B08B3/02 , B08B5/02 , C23G5/00
摘要： 本发明涉及高压处理装置和高压处理方法，不仅简单地从供给喷嘴(13、13)向基板(W)的表面供给处理流体，而且由各个供给喷嘴13供给的处理流体的流动方向(R1，R1)，在基板(W)表面内相互错开。因此，在基板(W)的表面上，形成处理流体的旋转流(TF)，处理流体与基板(W)的表面接触，进行规定的表面处理(洗净处理，第一次冲洗处理，第二次冲洗处理，干燥处理等)。
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公开(公告)号：CN1480993A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN03152641.1
申请日：2003-08-04
申请人： 株式会社神户制钢所
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67751 , B30B11/001 , B30B11/002 , H01L21/67126 , Y10T83/9387 , Y10T83/9423
摘要： 提供了一种用于将压力介质供给到高压处理腔(4)中的高压处理设备，该高压处理腔形成在压力容器(1)中以便处理工件。该压力容器包括可轴向彼此分离的第一容器部(2)和第二容器部(3)，其中高压处理腔形成于第一容器部和第二容器部之间。另外，用于紧密密封高压处理腔的端面密封部(5)邻接第一容器部和第二容器部而形成。设置有用于向该端面密封部提供轴向力的压力机设备(7)，并且该压力机设备在对应于压力容器的轴向中心的位置处具有用于放置例如搅动器等的辅助设备的空间。这种构形实现了这样一种端面密封形式的高压处理设备，例如搅动器等的辅助设备安装在该高压处理设备上。
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公开(公告)号：CN103009659A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210351096.7
申请日：2012-09-20
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： B30B11/002 , B22F3/003
摘要： 本发明提供一种热等静压加压装置。有关本发明的热等静压加压装置，是在收容被处理物的高压容器的内侧具备包围该被处理物而配设的非透气性的壳体、和设在该壳体的内侧、在被处理物的周围形成热区的加热机构、使用热区内的压力介质气体对被处理物进行等静压加压处理的热等静压加压装置。设有将在壳体的外侧被从上方朝向下方引导而被冷却的压力介质气体向热区内引导而将该热区冷却的冷却机构；在冷却机构中，为了将热区内效率良好地冷却，具备将在壳体的外侧被冷却后的压力介质气体以不与热区内的压力介质气体交会的方式从高压容器的下部引导到热区的上部、向热区内导入的气体导入机构。
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